[发明专利]液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置

说明书

技术领域

本发明涉及打印技术，尤其涉及一种液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置。

背景技术

打印机的液体喷头是通过压电元件和振动板的变形，使压力腔室的体积发生变化，从而将压力腔室中的墨水从喷孔喷出。

现有的一种液体喷头包括基底、设置在基底第一面上的振动板和压电元件以及粘接在基底第二面(与第一面相对的一面)上的喷孔板。现有的液体喷头的制造方法是：在基底的第一面形成振动板和压电元件，在基底的第二面通过蚀刻工艺，在该基底上蚀刻出多个与压电元件位置相对应的存储液体的压力腔室以及与供墨孔位置相对应的公共腔室，最后，在基体的第二面粘结喷孔板，使喷孔板上的多个喷孔分别与各个压力腔室连通。该液体喷头在工作时，压电元件在电压驱动下产生变形，并传递给振动板引起压力腔室体积变化，使得压力腔室中的液体从喷孔中喷出而完成打印。

但是，为了提高打印机的打印分辨率，需要增加高液体喷头的压力腔室的数量，由于现有的液体喷头的压力腔室是在基底上蚀刻形成，增加压力腔室数量需要减小相邻压力腔室的侧壁厚度，因而必然会导致作为基底的硅片的机械强度下降，在制造过程中容易出现基底破损而使液体喷头的成品率降低，制造成本较高；另一方面，由于喷嘴板是通过粘合剂粘接在压力腔室的基底上，若粘合剂流入压力腔室中，也会影响到打印质量。

发明内容

本发明提供一种液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置，用于解决现有技术中液体喷头制造方法制造出的液体喷头成品率低、制造成本较高且打印质量较差的技术缺陷。

本发明提供的一种液体喷头制造方法，包括：

在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件；

在第一基底的第一表面上形成与多个所述压力发生部件对应的压力腔室以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室；

通过键合工艺在所述压力腔室上成形过渡层，并在所述过渡层上形成喷孔板；

通过光刻工艺在所述喷孔板和过渡层上形成有与所述压力腔室连通的喷孔。

本发明还提供一种液体喷头，该液体喷头是用上述的液体喷头制造方法制造的。

本发明还提供一种打印装置，该打印装置包括如上所述的液体喷头。

本发明提供的液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置，是在第一基底的第一表面上形成压力腔室和公共腔室，当需要增加高液体喷头的压力腔室的数量时，由于本实施例是在第一基底上单独形成压力腔室，因而不会减小第一基底的机械强度，在制造过程中可以避免第一基底破损，从而提高液体喷头的成品率，降低制造成本。并且，通过键合工艺形成过渡层，在过渡层上形成喷孔板，并且通过光刻工艺在喷孔板和过渡层上形成喷孔，可以避免粘合剂流入压力腔室中，能够提高液体喷头的打印质量。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种液体喷头制造方法的流程图；

图2为图1中步骤200的一种具体实施方式的流程图；

图3为图1中步骤300的一种具体实施方式的流程图；

图4为图1中步骤100的一种具体实施方式的流程图；

图5为本发明实施例提供的另一种液体喷头制造方法的流程图；

图6为本发明实施例制造的液体喷头的结构示意图；

图7A-图7I为本发明实施例中步骤200的一种具体实施方式的产品制造过程结构视图；

图8A-图8G为本发明另一实施方式的产品制造过程结构视图；

图9A-图9C为本发明又一实施方式的产品制造过程结构视图；

图10A-图10B为本发明再一实施方式的产品制造过程结构视图。

具体实施方式

图1为本发明实施例提供的一种液体喷头制造方法的流程图，如图1所示，本实施例提供的液体喷头制造方法，包括：

步骤100，在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件。

步骤200，在第一基底的第一表面上形成与多个所述压力发生部件对应的压力腔室以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室。

具体地，图2为图1中步骤200的一种具体实施方式的流程图；如图2所示，步骤200，在第一基底的第一表面上形成与多个所述压力发生部件对应的压力腔室以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室，可以包括：

步骤201，在第一基底的第一表面上设置腔室层并曝光，限定压力腔室和公共腔室的形状和位置。