[发明专利]一种膜及其制备方法、显示面板及显示装置

权利要求书

1.一种膜，其特征在于，包括：基材；设置在所述基材的第一表面的第一膜层，其中，所述第一膜层包括靠近所述基材的第一多晶硅膜层，以及位于所述多晶硅膜层上远离所述基材的第一碳化硅膜层。

2.如权利要求1所述的膜，其特征在于，还包括：设置于所述基材的第二表面的第二膜层，其中，所述第二表面与所述第一表面相对设置；

所述第二膜层包括：靠近所述基材的第二多晶硅膜层。

3.如权利要求2所述的膜，其特征在于，所述第二膜层还包括：位于所述第二多晶硅膜层上远离所述基材的第二碳化硅膜层。

4.如权利要求3所述的膜，其特征在于，所述第一多晶硅膜层与所述第一碳化硅膜层直接接触，所述第二多晶硅膜层与所述第二碳化硅膜层直接接触；

其中，所述第一多晶硅膜层与所述第二多晶硅膜层均为表面不平整的微棱镜结构。

5.如权利要求1～4任一项所述的膜，其特征在于，所述基材的材料为透明的有机聚合物。

6.一种显示面板，其特征在于，包括如权利要求1～5任一项所述的膜。

7.如权利要求6所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括：

第一基板；

与第一基板相对设置的第二基板；

其中，所述膜设置于所述第一基板外侧。

8.如权利要求7所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括：设置在所述膜与所述第一基板之间的偏光片。

9.如权利要求7所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括：设置在所述第一基板与所述第二基板之间的液晶层，或，设置在所述第二基板之上的发光器件。

10.如权利要求6所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括：触摸屏。

11.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求6～10任一项所述的显示面板。

12.一种制备膜的方法，其特征在于，包括：

提供一基材；

在所述基材的至少一表面形成第一膜层；

其中，形成所述第一膜层的过程为：

在基材的至少一表面形成多晶硅膜层；

在至少一多晶硅膜层之上，形成碳化硅膜层。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，形成所述第一膜层的过程，具体为：

在基材的两个表面同时形成多晶硅膜层，在至少一多晶硅膜层之上形成碳化硅膜层；或

在基材的其中一表面形成多晶硅膜层，在所述多晶硅膜层之上形成碳化硅膜层。

14.如权利要求12或13所述的方法，其特征在于，所述形成碳化硅膜层，具体包括：利用激光诱导化学气相沉积工艺形成所述碳化硅膜层。