[发明专利]一种高效耐酸缓蚀剂的制备方法无效
申请号: | 201410188442.3 | 申请日: | 2014-05-07 |
公开(公告)号: | CN103966609A | 公开(公告)日: | 2014-08-06 |
发明(设计)人: | 程丽华;潘奇;于湘;童汉清;杨鑫莉;梁亮 | 申请(专利权)人: | 广东石油化工学院 |
主分类号: | C23F11/04 | 分类号: | C23F11/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 525000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 耐酸 缓蚀剂 制备 方法 | ||
1.一种高效耐酸缓蚀剂的制备方法,其特征在于:所述的制备方法的具体步骤如下:
(1)向反应器中加入乙醇、甲酸和N-甲基苯胺,搅拌均匀,然后加热升温至70-90℃;
(2)向反应器中加入苯乙酮,并同时滴加甲醛,然后反应3-5h;
(3)再向反应器中加入氯化苄、在反应1-3h;
(4)停止加热,自然冷却至室温,然后向反应器中加入丙炔醇,并搅拌均匀得到耐酸缓蚀剂;
其中,上述原料中乙醇的重量百分比为30-40%,甲酸的重量百分比为5-10%,N-甲基苯胺的重量百分比为5-15%,苯乙酮的重量百分比为10-20%,甲醛的重量百分比为10-15%,氯化苄的重量百分比为10-20%,丙炔醇1-8%。
2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(1)中,乙醇、甲酸和N-甲基苯胺的重量百分比分别为36.6%、8.7%、10%。
3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(1)中,加热升温至80℃。
4.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(2)中,苯乙酮的的重量百分比是14.2%。
5.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(2)中,甲醛的的重量百分比是12%。
6.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(2)中,反应4h。
7.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(3)中,氯化苄的的重量百分比是14.4%。
8.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(3)中,反应2h。
9.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于:步骤(4)中,丙炔醇的的重量百分比是4.1%。
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