[发明专利]一种监控装置

权利要求书

1.一种监控装置，包括用于真空镀膜的腔室，其特征在于，还包括电容测试装置(1)和位于腔室内的挡板机构(2)，所述挡板机构(2)为由多个挡板面所围成的密闭结构，其中至少一个所述挡板面包括固定挡板(21)和活动挡板(22)，所述活动挡板(22)绕所述固定挡板(21)转动，且活动挡板(22)转动后与相邻挡板面平行，所述相邻挡板面和活动挡板(22)分别与电容测试装置(1)连接，所述电容测试装置(1)用于测试所述相邻挡板面与活动挡板(22)之间的电容。

2.根据权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述挡板机构(2)为立方体形状，所述固定挡板(21)和活动挡板(22)均设置于立方体的顶部或者底部，所述活动挡板(22)绕所述固定挡板(21)转动90°角后与所述相邻挡板面平行。

3.根据权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述活动挡板(22)的边缘设有第一连接部(3)和第二连接部(4)，所述第一连接部(3)与固定挡板(21)转动连接，所述第二连接部(4)与固定挡板(21)对应设置。

4.根据权利要求3所述的监控装置，其特征在于，所述第一连接部(3)的上方设有密封条(5)，所述密封条(5)位于所述固定挡板(21)与活动挡板(22)之间的缝隙处。

5.根据权利要求3所述的监控装置，其特征在于，所述第一连接部(3)与第二连接部(4)的材质均为绝缘材料。

6.根据权利要求3所述的监控装置，其特征在于，所述活动挡板(22)的形状为矩形，所述活动挡板(22)的数量为一个或者多个。

7.根据权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述相邻挡板面与活动挡板(22)分别通过导线与电容测试装置(1)连接。

8.根据权利要求7所述的监控装置，其特征在于，所述电容测试装置(1)为用于测试电容的万用表、电容表或者电桥测试仪。

9.根据权利要求1所述的监控装置，其特征在于，所述挡板面的内侧沉积有薄膜。