[发明专利]一种新型高速数字扫描直写光刻装置

权利要求书

1.一种新型高速数字扫描直写光刻装置，包含有光源、光学照明系统、可编程图形发生器、投影光学系统、高速精密移动平台，曝光光线从光源发出，经光学照明系统后投影至可编程的图形发生器，可编程发生器上预设的图形信息随着曝光光线进入投影光学系统，最后投影在高速精密移动平台的基底上，其特征在于：所述光源、所述光学照明系统和所述图形发生器同轴。

2.根据权利要求1所述的一种新型高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于：所述光源为波长在436nm及其以下的紫外光源，是激光、LED、LD或者汞灯。

3.根据权利要求1所述的一种新型高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于：所述光学照明系统将入射光源准直成平行均匀的面光源。

4.如权利要1所述的新型高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于：所述可编程图形发生器是反射、衍射或透射器件。

5.如权利要4所述的新型高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于：所述可编程图形发生器为单列像素阵列，共计包含N个像素，N不小于1，图形单元为N*1结构。

6.如权利要5所述的新型高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于：所述可编程发生器的每个像素都由活动部件和固定部件两部分组成。

7.如权利要6所述的新型高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于：所述可编程发生器处于非工作状态时，所述活动部件和所述固定部件处于同一高度；所述可编程发生器处于工作状态时，所述活动部件和所述固定部件处于不同的高度。

8.如权利要1所述的新型高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于：所述投影光学系统包括由透镜或透镜组组成的投影镜头，对应设于所述可编程图形发生器一侧。

9.如权利要1所述的新型高速数字扫描直写光刻装置，其特征在于：曝光的方式为高速扫描，一次扫描条带能曝光宽度为L的曝光条带，设定单个像素尺寸a，投影光学系统倍率M，则曝光条带宽度L为：L＝N*a*M。