[发明专利]金属互连线拼接版图结构

权利要求书

1.一种金属互连线拼接版图结构，其特征在于，包括：形成有第一类互联金属互连线图形的第一拼接模块以及形成有第二类互连金属互连线图形的第二拼接模块，所述第一类互连金属互连线图形的拼接端的一定线长上具有线宽大于第二类金属互连线图形的线宽的连接头图形，所述第二拼接模块的拼接端设有线长不大于所述连接头图形线长的对准叠合区，所述连接头图形在第一拼接模块和第二拼接模块拼接时与对准叠合区中的第二类金属互连线图形对准叠合。

2.如权利要求1所述的金属互连线拼接版图结构，其特征在于，所述连接头图形的线长为0.02μm～0.5μm。

3.如权利要求1所述的金属互连线拼接版图结构，其特征在于，所述连接头图形的线宽比所述第二类金属互连线图形的线宽大0.02μm～0.5μm。

4.如权利要求1所述的金属互连线拼接版图结构，其特征在于，所述对准叠合区的线长为0.02μm～0.5μm。

5.如权利要求1所述的金属互连线拼接版图结构，其特征在于，所述第一拼接模块包含多个第一类互联金属互连线图形，所述第二拼接模块包含多个第二类互联金属互连线图形，相邻两个第一类互联金属互连线图形之间的间距比第一类互连金属互连线图形的最小间距大0.02μm～0.5μm，相邻两个第二类互联金属互连线图形之间的间距比第二类互连金属互连线图形的最小间距大0.02μm～0.5μm。

6.如权利要求1所述的金属互连线拼接版图结构，其特征在于，所述第一类互连金属互连线图形除连接头图形以外的部分为直线形。

7.如权利要求1或6所述的金属互连线拼接版图结构，其特征在于，所述第一类互连金属互连线图形中，所述连接头图形与除连接头图形以外的部分呈“T”形、倒“L”形或者喇叭形，所述连接头图形为“T”形的横段区域、倒“L”形的横段折弯区域或喇叭形的喇叭口区域。

8.如权利要求1所述的金属互连线拼接版图结构，其特征在于，所述第二类互连金属互连线图形为直线形。

9.如权利要求1或8所述的金属互连线拼接版图结构，其特征在于，所述第一类互连金属互连线图形除连接头图形以外的部分的线宽与第二类互连金属互连线图形的线宽相等。