[发明专利]用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法

说明书

技术领域

本发明属于真空镀膜中的玻璃基板传输技术，尤其是涉及一种用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统和镀膜系统的传输方法。

背景技术

玻璃基板是构成液晶显示器件的一个基本部件，是平板显示产业的关键基础材料之一。玻璃基板是一种表面及其平整的薄玻璃片，平板显示屏幕、低辐射玻璃和智能玻璃市场的迅速增长要求在玻璃基板表面镀制各种不同材料的膜层。

在传统的真空镀膜过程中，玻璃基板的承载和固定是由带有夹具的玻璃基板架实现。虽然，带有夹具的玻璃基板架能够支承玻璃基板，避免玻璃基板易晃动，但夹具的引入带来了另外一些问题。在溅射镀膜过程中，玻璃基板架与旋转靶材保持相互平行，玻璃基板架沿着垂直于旋转靶材的方向传输，玻璃基板架传输过程中会造成玻璃基板的震动，而夹具的夹持力量在反复震动下产生间歇性松动，导致玻璃基板与玻璃基板架相对滑动，造成玻璃基板表面划伤，使得镀膜不均匀，并出现镀膜阴影，同时相对滑动使得玻璃基板碰撞夹具或脱离夹具的夹持而破损。另外，夹具上的膜层在长时间后可能脱落造成小颗粒污染玻璃表面，形成薄膜缺陷，降低了镀膜良品率。

实用新型专利CN202631893U公开了一种玻璃基板固定夹具，所述固定夹具包括边框和固定在边框上的支撑件。所述边框包括侧边条、顶边条和底边条，在所述侧边条和/或顶边条设置有夹扣。该实用新型利用支承件分担夹扣固定玻璃基板的支撑力，在支撑件和夹扣的作用下更加牢固地夹持玻璃基板，改善了仅用夹具夹持玻璃基板夹持不够稳固的问题。但是，夹扣和支撑件都是直接接触玻璃基板表面，在实际使用中，夹扣和支撑件受镀膜震动影响，造成玻璃基板表面划伤，仍有镀膜阴影问题、夹扣和支撑件镀膜后膜层脱落小颗粒污染引起的镀膜缺陷问题以及玻璃基板破损的可能。

发明内容

本发明针对现有技术存在的上述不足，提供一种结构简单、稳定支撑玻璃基板和具有优良镀膜效果的不需要使用夹具的玻璃基板架及其传输方法和镀膜系统。

用于真空镀膜的玻璃基板架，其特征在于，包括至少一个凹形的用来装载玻璃基板的底面封闭或底面中空的边框容置区。所述玻璃基板架利用凹形的边框容置区承装玻璃基板，即使在真空镀膜过程中发生震动，玻璃基板也不易滑落出凹的边框容置区。

所述边框容置区包括用以支撑玻璃基板的底面和形成所述边框容置区的边框的外周边，所述边框容置区的外周边与所述玻璃基板架表面平齐或所述边框容置区的外周边从所述玻璃基板架表面向外延伸。

所述底面与所述玻璃基板架表面垂直距离为0.5~5mm；或者所述边框容置区的外周边与所述玻璃基板架表面的垂直距离为0.5mm~5mm。

所述边框容置区支撑玻璃基板的位置设置缓冲部件。

所述玻璃基板架由金属或耐高温板加工制成。

具有所述用于真空镀膜的玻璃基板架的镀膜系统，其特征在于，还包括玻璃基板架传输装置以及与所述玻璃基板架平行设置的镀膜装置。玻璃基板的镀膜工序在由设有多个凹形的边框容置区的玻璃基板、玻璃基板架传输装置和镀膜装置组成的镀膜系统中实现，该镀膜系统适用多种镀膜技术，镀膜成品率高且品质优良。

所述镀膜装置与所述玻璃基板架的平行间距为10mm~1000mm。

所述镀膜装置为采用旋转阴极靶材或平面阴极靶材的磁控溅射源。

使用所述镀膜系统的传输方法，其特征在于，所述玻璃基板架倾斜站立在所述玻璃基板架传输装置上；所述边框容置区与所述玻璃基板架的水平方向的底边水平线形成倾斜角度。所述玻璃基板架除利用凹形的边框容置区外，还利用玻璃基板架与玻璃基板架传输装置以及边框容置区与玻璃基板架的位置关系，使得玻璃基板在不使用夹具的情况下仍能稳固于玻璃基板上，镀膜均匀，良品率提高。

所述玻璃基板架的所在面与所述玻璃基板架传输装置的水平面方向所构成的玻璃基板架倾角θ为70°~89°，所述边框容置区的边缘与所述玻璃基板架的水平方向的底边水平线所构成的玻璃基板架容置区倾角β为1°~30°。

本发明的有益效果：本发明用于真空镀膜的玻璃基板架及其镀膜系统结构简单，利用所述镀膜系统的传输方法通过玻璃基板架的凹形边框容置区以及玻璃基板架和凹形边框容置区分别与玻璃基板架传输装置和玻璃基板架的位置关系代替夹具实现玻璃基板的稳固传输，并解决了因夹具影响使得玻璃基板镀膜阴影、小颗粒污染等良品率低的问题。

附图说明

下面将参照附图对本发明的具体实施方案进行更详细的说明，其中：