[发明专利]一种ITO废靶回收金属铟锡的方法无效
申请号: | 201410201193.7 | 申请日: | 2014-05-14 |
公开(公告)号: | CN104032133A | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 方宏;王政红;郗雨林 | 申请(专利权)人: | 中国船舶重工集团公司第七二五研究所 |
主分类号: | C22B7/00 | 分类号: | C22B7/00;C22B25/06;C22B58/00 |
代理公司: | 洛阳市凯旋专利事务所 41112 | 代理人: | 陆君 |
地址: | 471023 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 ito 回收 金属 方法 | ||
1.一种ITO废靶回收金属铟锡的方法,其特征是:其步骤为:(1)ITO废靶表面清洁:将废靶表层杂物去除后,用有机溶剂进行超声清洗,取出擦干,再用纯净水超声清洗,干燥待用;
(2)高温还原法回收ITO废靶: 将干燥后的ITO废靶和还原性物质活性碳或石墨置于的坩埚内,在气氛热处理炉中升温至1000°C~1600°C时,充入非氧化性气体氩气、氦气、氮气、甲烷、二氧化碳的任一种或两种以上混合气体作为保护气体,保温1~10小时;在高温非氧化气氛下ITO废靶与还原性物质活性碳或石墨反应,氧化铟和氧化锡被还原,生成金属铟锡合金。
2.如权利要求1所述的ITO废靶回收金属铟锡的方法,其特征是:步骤(1)所述有机溶剂为乙醇、乙醚、丙酮、苯、甲苯、汽油的任一种物质。
3.如权利要求1所述的ITO废靶回收金属铟锡的方法,其特征是:所述坩埚的材质为刚玉、氧化钇稳定的氧化锆、氧化钙稳定的氧化锆、刚玉莫来石、碳化硅的其中任意一种。
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