[发明专利]一种ITO废靶回收金属铟锡的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种属光电材料的循环利用技术领域，尤其是涉及一种ITO废靶回收金属铟锡的方法。

背景技术

已知的，目前已公布的ITO废靶回收技术主要是湿法回收，即将ITO废靶用强酸溶解，然后电解、水解沉淀、碱法分离、置换等。

公开申请号CN1487102A提出一种从铟锡氧化物废靶中回收铟的方法：将ITO废靶破碎球磨至粒度<149μm后，采用浸出、除杂、置换、电解的全湿法流程从ITO废靶中回收铟，得到含铟达99.99%的高纯铟。

授权公告号CN101701292A采用的是氧化法从ITO废靶中回收铟锡的方法：将ITO废靶经破碎、球磨后，加浓盐酸溶解浸出，通过添加NaOH氧化浸出液并调PH值获得浸出渣，再经洗涤、焙烧、氧化后实现锡分离，得到粗铟，经一次电解后得到4N铟，铟的回收率可以稳定在97%以上

授权公告号CN101701291B采用的是蒸馏法从ITO废靶中回收铟锡的方法，将ITO废靶经破碎、球磨后，将盐酸浸出，加入适量的氧化剂，制成蒸馏原液，按一定的蒸馏工艺分离铟、锡，达到废靶回收的目的。

上述方法都存在流程繁琐、效率低下、回收成本高等不足，同时传统方法需加强酸进行反应，会产生大量的酸废液，严重污染环境。

发明内容

    为了克服背景技术中的不足，本发明公开了一种ITO废靶回收金属铟锡的方法，针对传统ITO废靶回收技术的不足，实现工艺流程简单、回收效率高、回收成本低、节能环保等目的。

为了实现所述发明目的，本发明采用如下技术方案：

一种ITO废靶回收金属铟锡的方法，其步骤为：（1）ITO废靶表面清洁：将废靶表层杂物去除后，用有机溶剂进行超声清洗，取出擦干，再用纯净水超声清洗，干燥待用；

（2）高温还原法回收ITO废靶： 将干燥后的ITO废靶和还原性物质活性碳或石墨置于的坩埚内，在气氛热处理炉中升温至1000°C~1600°C时，充入非氧化性气体氩气、氦气、氮气、甲烷、二氧化碳的任一种或两种以上混合气体作为保护气体，保温1~10小时；在高温非氧化气氛下ITO废靶与还原性物质活性碳或石墨反应，氧化铟和氧化锡被还原，生成金属铟锡合金。

本发明步骤（1）所述有机溶剂为乙醇、乙醚、丙酮、苯、甲苯、汽油的任一种物质。

本发明所述坩埚的材质为刚玉、氧化钇稳定的氧化锆、氧化钙稳定的氧化锆、刚玉莫来石、碳化硅的其中任意一种。

由于采用了上述技术方案，本发明具有如下有益效果：

本发明所述的ITO废靶回收金属铟锡的方法，可实现铟锡的回收率达99%，所制备的铟锡合金的纯度≥99.99%，杂质含量总和￡100ppm。

本发明通过一步还原法可将ITO废靶直接制备成高纯铟锡合金锭，直接用于制造ITO粉末，并用于ITO靶材的制备，大大缩短了废靶的再利用周期。与目前湿法相比，工序显著缩短，效率显著提高，同时减少了环境污染。

 

具体实施方式

通过下面的实施例可以详细的解释本发明，公开本发明的目的旨在保护本发明范围内的一切技术改进。

实施例1：

将500gITO废靶表层明显杂物去除后，用乙醇超声清洗15min，取出擦干，再用纯净水超声清洗20min，取出干燥，之后将ITO废靶和33g高纯石墨置于氧化锆坩埚内，在气氛热处理炉中，使用氩气作为保护气氛，升温至1400°C，并保温2h，在高温下ITO废靶与石墨反应，氧化铟和氧化锡被还原，生成金属铟锡合金。具体反应式为：

共回收408g铟锡合金，铟锡合金回收率达到99%。对所回收的铟锡合金进行成分分析，结果显示合金的杂质含量￡100ppm。

实施例2：

将300gITO废靶表层明显杂物去除后，用丙酮超声清洗15min，取出擦干，再用纯净水超声清洗20min，取出干燥，之后将ITO废靶和20g活性炭置于氧化锆坩埚内，在气氛热处理炉中，使用氩气作为保护气氛，升温至1350°C，并保温3h，在高温下ITO废靶与高纯活性炭反应，氧化铟和氧化锡被还原，生成金属铟锡合金，具体反应式为：

共回收245g铟锡合金，回收率达到99%。对所回收的铟锡合金进行成分分析，结果显示合金的杂质含量￡100ppm。

本发明未详述部分为现有技术。