[发明专利]位置检测装置、位置检测方法以及基板的制造方法

权利要求书

1.一种位置检测装置，其具有：

拍摄部；

输送部，其将基板沿输送方向输送，使正输送的所述基板停止；

移动机构，其使所述拍摄部或者所述基板沿输送方向移动，以使得所述拍摄部以及停止的所述基板在所述输送方向上的相对位置变化；以及

控制部，其利用所述拍摄部对停止的所述基板的输送方向上的边缘进行拍摄，基于拍摄到的图像内的所述基板的边缘位置，对所述基板的停止位置进行检测，所述控制部最初在边缘停止预想位置处，利用所述拍摄部尝试拍摄所述边缘，该边缘停止预想位置是预想所述基板的边缘所停止的位置，所述控制部对在所述边缘停止预想位置处由所述拍摄部拍摄到的图像是否是包含所述边缘在内的图像进行判定，在所述图像不是包含所述边缘在内的图像的情况下，执行下述重试处理，即，利用所述移动机构使所述拍摄部以及所述基板的所述输送方向上的相对位置变化，再次利用所述拍摄部尝试拍摄所述边缘，所述控制部在所述重试处理中，基于在所述边缘停止预想位置处由所述拍摄部拍摄到的图像，对在所述输送方向上应使所述拍摄部或者所述基板移动的方向进行判定。

2.根据权利要求1所述的位置检测装置，其中，

所述控制部基于检测到的所述基板的停止位置，对所述边缘停止预想位置进行校正。

3.根据权利要求1所述的位置检测装置，其中，

所述控制部对应于每个所述基板的重量，在不同的边缘停止预想位置处，利用所述拍摄部对所述边缘进行拍摄。

4.根据权利要求1所述的位置检测装置，其中，

所述控制部在所述重试处理中，基于在所述边缘停止预想位置处由所述拍摄部拍摄到的图像，对所述拍摄部是否存在于与所述基板对应的位置处进行判定，与判定结果相对应，对在所述输送方向上应使所述拍摄部或者所述基板移动的方向进行判定。

5.根据权利要求1所述的位置检测装置，其中，

所述控制部直至检测到所述边缘为止，反复进行所述重试处理。

6.根据权利要求4所述的位置检测装置，其中，

成为所述拍摄部的拍摄对象的边缘，是所述输送方向上的前端侧的边缘，

所述控制部在判定为所述拍摄部存在于与所述基板对应的位置处的情况下，使所述拍摄部向输送所述基板的方向移动，或者，使所述基板向与输送所述基板的方向相反的方向移动。

7.根据权利要求6所述的位置检测装置，其中，

所述控制部在判定为所述拍摄部不存在于与所述基板对应的位置处的情况下，使所述拍摄部向与输送所述基板的方向相反的方向移动，或者，使所述基板向输送所述基板的方向移动。

8.根据权利要求4所述的位置检测装置，其中，

成为所述拍摄部的拍摄对象的边缘，是所述输送方向上的后端侧的边缘，

所述控制部在判定为所述拍摄部存在于与所述基板对应的位置处的情况下，使所述拍摄部向与输送所述基板的方向相反的方向移动，或者，使所述基板向输送所述基板的方向移动。

9.根据权利要求8所述的位置检测装置，其中，

所述控制部在判定为所述拍摄部不存在于与所述基板对应的位置处的情况下，使所述拍摄部向输送所述基板的方向移动，或者，使所述基板向与输送所述基板的方向相反的方向移动。

10.根据权利要求1所述的位置检测装置，其中，

所述控制部在所述重试处理失败的情况下，输出示教画面的显示信号，该示教画面用于通过手动使所述拍摄部以及所述基板的所述输送方向上的相对位置变化，对所述拍摄部的位置和所述边缘的位置进行位置对齐。