[发明专利]气密性密封的光电或电光部件及其生产方法

权利要求书

1.一种用于生产对热和湿气具有高坚固耐用性的气密性密封的光电或电光部件的方法，所述方法具有如下步骤：

a)设置用于至少一个光电或电光转换器元件(7)的载体(3)，所述载体(3)同时用作壳体(2)的基板，

b)设置在底表面(4.1)处具有开口(4.2)的壳体盖(4)，

c)在所述壳体盖(4)内产生至少一个开孔(5)，使得在所述壳体盖(4)被放置在所述载体(3)上之后，用于接纳所述至少一个转换器元件(7)的内部空间(6)相应地通过在所述载体(3)上方的所述壳体盖(4)形成，与所述至少一个转换器元件(7)相关的辐射(9)能够以不受阻碍的方式沿被大体正交于所述载体(3)定向的光束路径(8)在开孔(5)和所述转换器元件(7)之间通过所述壳体盖(4)，

d)设置至少一个窗口元件(10)，所述至少一个窗口元件(10)对于与所述转换器元件(7)相关的辐射(9)而言是透明的，并且所述至少一个窗口元件(10)的形状和尺寸适合于所述壳体盖(4)的相应的所述开孔(5)，并且所述至少一个窗口元件(10)具有边缘金属化部(10.2)，所述边缘金属化部(10.2)作为用于所述至少一个开孔(5)的边缘区域的接触表面，

e)将所述边缘金属化部(10.2)施加为至少两层的层序列，其中，所述窗口元件(10)的边缘金属化部(10.2)通过至少覆有：

铬或钛的第一层，和包括镍、铁镍、铂和钯的组中的一种的第二层来制成，

f)组装载体(3)、转换器元件(7)、壳体盖(4)和所述至少一个窗口元件(10)，其中通过将金属材料熔融在所述至少一个窗口元件(10)的所述边缘金属化部(10.2)和所述壳体盖(4)之间而在所述壳体盖(4)和所述至少一个窗口元件之间(10)产生气密性密封的连接，并且在所述壳体盖(4)和所述载体(3)之间产生气密性密封的连接，使得以气密性密封的方式与所述载体(3)形成熔融的金属材料的第二接缝(18)，并且所述壳体盖(4)在连接到所述载体(3)之前被定位在所述载体(3)上，使得所述至少一个开孔(5)与所述至少一个转换器元件(7)的要求的相应的所述光束路径(8)相对置地对齐。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述窗口元件(10)以透明材料板的形式产生，所述透明材料从包括如下材料的组中选择：蓝宝石(Al₂O₃)、氟化镁(MgF₂)、氧化镁(MgO)、氟化锂(LiF)、氟化钙(CaF₂)、氟化钡(BaF₂)、硅(Si)、二氧化硅(SiO₂)、锗(Ge)、硒化锌(ZnSe)、硫化锌(ZnS)、碲化镉(CdTe)、砷化镓(GaAs)、二氧化钛(TiO2)、Y部分稳定的氧化锆(ZrO₂)、溴化铊和碘化铊的混合物(KRS5；Tl(Br-I))、火石玻璃或熔融的硅石。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述边缘金属化部(10.2)还包括第三层，其中，所述至少两层的层序列通过作为保护层或润湿层的金或镍的第三层来补充。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述边缘金属化部(10.2)通过气相沉积工艺或通过电化学工艺产生。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在产生处在所述壳体盖(4)和所述载体(3)之间的所述气密性密封的连接之前，以气体或以气体混合物填充所述内部空间(6)，或将所述内部空间(6)排空。