[发明专利]金属遮罩制造方法以及金属遮罩

权利要求书

1.一种金属遮罩制造方法，包含下列步骤：

(a)在一基板的一第一面设置一第一防蚀刻层；其中该第一防蚀刻层上具有一第一镂空区；

(b)在该基板相对该第一面的一第二面上设置一第二防蚀刻层；其中该第二防蚀刻层上的一第二镂空区与该第一镂空区相对；

(c)对该第一面及该第二面进行一第一次蚀刻，使该第一面为该第一镂空区所曝露的区域形成一第一凹陷部及使该第二面为该第二镂空区所曝露的区域形成一第二凹陷部；其中该第一凹陷部及该第二凹陷部为该基板的一部分所隔绝；

(d)布设一保护层填入该第一凹陷部内；

(e)自该第二面进行第二次蚀刻，使该第一凹陷部及该第二凹陷部产生一穿口；

(f)去除该第二防蚀刻层；以及

(g)自该第二面进行第三次蚀刻。

2.如权利要求1所述的金属遮罩制造方法，其特征在于，步骤(b)包含使该第二镂空区的横向宽度大于该第一镂空区的横向宽度。

3.如权利要求1所述的金属遮罩制造方法，其特征在于，步骤(e)包含于该穿口横向宽度与该第一凹陷部最大横向宽度相近时停止该第二次蚀刻。

4.如权利要求1所述的金属遮罩制造方法，其特征在于，步骤(g)中该第三次蚀刻是采用朝向该第二面方向的喷式蚀刻。

5.如权利要求1所述的金属遮罩制造方法，其特征在于，步骤(g)中是蚀刻该第二镂空区的内表面形成一微结构壁面，当该微结构壁面与该第一面的夹角小于40度时，停止该第三次蚀刻。

6.如权利要求5所述的金属遮罩制造方法，其特征在于，步骤(g)中当该微结构壁面的曲率半径大于500μm时，停止该第三次蚀刻。

7.一种金属遮罩，是以权利要求1至6中任一者所述的制造方法所制成，该金属遮罩包含多个微结构，相邻微结构间夹有一间隙；其中，每一微结构具有：

一底面，为该第一面的一部分；以及

至少一微结构壁面，与该底面的夹角小于40度。

8.如权利要求7所述的金属遮罩，其特征在于，该微结构壁面与该底面的夹角大于20度。

9.如权利要求7所述的金属遮罩，其特征在于，该微结构壁面的曲率半径大于500μm。

10.如权利要求7所述的金属遮罩，其特征在于，该间隙的横切宽度不小于该底面的横切宽度的一半。