[发明专利]真空泵装置以及一种制造所述真空泵装置的方法

权利要求书

1.一种真空泵装置，包括：泵壳，所述泵壳内形成流动路径；入口接头(4)和出口接头(5)，所述入口接头(4)和出口接头(5)通过所述路径流体连通；并且所述路径上设置有喷射泵(10)，藉此真空接头(18)通过第一止回阀(22)和所述喷射泵(10)的进气接头(12)流体连通，并且通过位于所述进气接头(12)面向所述出口接头(5)一侧的第二止回阀(25)与流动路径(3)流体连通，并且藉此所述第一止回阀(22)以及所述第二止回阀(25)各自配备气门座(23，26)以及可移动的气门部件(24,27)，所述气门部件(24,27)为阀舌门，其在关闭状态下彼此平行排列，所述气门部件都是模制件(40)的组件，所述气门部件都通过弹性隔片(44,45)与所述模制件(40)的基本部件(41)相连，并且所述气门部件都以能够相对于所述模制件的所述基本部件旋转的方式被支撑。

2.根据权利要求1所述的真空泵装置，其特征在于，其基本部件(41)至少包围气门部件(24,27)。

3.根据权利要求1所述的真空泵装置，其特征在于，其基本部件(41)包括位于气门部件(24,27)之间的分离隔片(43)。

4.根据权利要求3所述的真空泵装置，其特征在于，其基本部件(41)包括包围气门部件(24,27)的环形隔片(42)。

5.根据权利要求4所述的真空泵装置，其特征在于，其分离隔片(43)在相对的两面与环形隔片(42)相连。

6.根据权利要求5所述的真空泵装置，其特征在于，泵壳(2)含有一个容纳喷射泵(10)的喷射泵壳(28)以及一个包含真空接头(18)的外罩(29)，所述外罩固定在喷射泵壳(28)上。

7.根据权利要求6所述的真空泵装置，其特征在于，环形隔片(42)以及/或者分离隔片(43)与喷射泵壳(28)以及外罩(29)密封接触。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的真空泵装置，其特征在于，模制件(40)由整块材料以及/或者同样材料制成。

9.一种制造根据权利要求1至8中的任一项所述的真空泵装置(1)的方法，所述真空泵装置(1)包括：泵壳(2)，其中形成流动路径(3)；入口接头(4)和出口接头(5)，所述入口接头(4)和出口接头(5)通过该路径流体连通，且其中设置有喷射泵(10)，所述真空接头(18)通过第一止回阀(22)和喷射泵(10)的进气接头(12)，以及通过位于进气接头(12)面向出口接头(5)一侧的第二止回阀(25)与流动路径(3)流体连通，所述第一止回阀(22)以及第二止回阀(25)各自包括气门座(23，26)以及可移动的气门部件(24,27)，其特征在于，所述气门部件(24,27)为阀舌门，并且在关闭状态下彼此平行排列，所述气门部件都是模制件(40)的组件，所述气门部件都通过弹性隔片(44,45)与所述模制件(40)的基本部件(41)相连，并且所述气门部件都以能够相对于所述模制件的所述基本部件旋转的方式被支撑。