[发明专利]降低光掩模板条纹的方法及装置

说明书

技术领域

本发明属于光光掩模生产领域，尤其涉及降低光掩模板条纹的方法及装置。

背景技术

平板显示器显示是基于每个像素对光的反射、透过、或发光实现的，这些像素点的反射、透过、或发光的强度如果在同等系统驱动条件下，如果反射、透过、或发光的强度不一致，对于同样亮度与颜色的区域，会让人的眼睛感觉到不同亮度或颜色的图像。而引起这些不同的主要原因，是在显示器设计时本来相同的像素图形，由于在制造中的各个环节的误差，导致最终产品上的部分像素的大小发生细微的变化。由于人眼对光具有极强的敏感性，导致最终人眼在显示器上看到本来应该相同的颜色与亮度的区域出现明暗变化的区块或线条。产生这一问题的主要原因之一是用于复制平板显示器线路的光掩模板出现条纹。条纹的产生主要有以下几种情形：光刻机扫描带之间的重叠区与非重叠区的能量差别，引起的在光掩模板上不同位置的像素图形出现差别；多光束光刻机，不同的光刻机光束之间的能量差异，引起的光掩模板上不同位置的像素图形出现差别；在同样的光刻机能量作用下，由于涂胶不均，引起的光掩模板上不同位置的相素图形出现差别。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供降低光掩模板条纹的方法及装置，旨在解决由于光掩模板在制造过程中的误差，导致的光掩模板上出现条纹的问题。

本发明实施例是这样实现的，降低光掩模板条纹的方法，所述方法包括下述步骤：

通过光掩模检测板测量像素图形和扫描带重叠部分的重叠图形精度变化曲线；

根据所述精度变化曲线在进行光刻之前对所述扫描带重叠部分进行反补。

进一步的，在通过光掩模检测板测量像素图形和扫描带重叠部分的重叠图形精度变化曲线步骤前还包括：

设计制作光掩模检测板，所述光掩模检测板以光掩模制作设备或平板显示器曝光设备的最高设计能力设计最小线缝，最小线缝之间距离不等于光刻机扫描带宽度，且最小线缝之间的距离与光刻机扫描带宽度不成倍数关系。

降低光掩模板条纹的方法，所述方法包括下述步骤：

按照光刻机设备的光斑大小，光束数量计算图形由于光束能量差异造成的条纹的图形收缩系数；

根据所述收缩系数对图形中的所有顶点进行收缩，得到收缩图形；

根据所述收缩图形在将收缩图形进行光刻前，在设备上使用相反系数进行反补。

降低光掩模板条纹的方法，所述方法包括下述步骤：

设计制作光掩模检测板；

根据划分间隔通过光掩模检测板对光掩模板的涂胶或不同区域的光强度进行矩阵测量，测量每个矩阵点，得到每个矩阵点的偏差；

将图形按照划分间隔进行分割，分割成小单元，按照分割后图形每个顶点所在的坐标测量小单元矩阵中的四个点围成的区域，根据小单元矩阵中的四个点求出此点的偏差，在进行光刻前对图形进行反补。

进一步的，在根据划分间隔通过光掩模检测板对光掩模板的涂胶或不同区域的光强度进行矩阵测量，测量每个矩阵点，得到每个矩阵点的偏差步骤前还包括:

设计制作光掩模检测板，所述光掩模检测板以光掩模制作设备或平板显示器曝光设备的最高设计能力设计最小线缝。

本发明实施例的另一目的在于提供降低光掩模板条纹的装置，所述装置包括：

重叠检测单元，用于通过光掩模检测板测量像素图形和扫描带重叠部分的精度变化曲线；

重叠区反补单元，用于根据所述精度变化曲线在进行光刻之前对所述扫描带重叠部分进行反补。

降低光掩模板条纹的装置，所述装置包括：

收缩系数测量单元，用于按照光刻机设备的光斑大小，光束数量计算图形由于光束能量差异造成的条纹的图形收缩系数；

收缩图形计算单元，用于根据所述收缩系数对图形中的所有顶点进行收缩，得到收缩图形；

反补单元，用于根据所述收缩图形在将收缩图形进行光刻前，在设备上使用相反系数进行反补。

降低光掩模板条纹的装置，所述装置包括：

光强或涂胶测量单元，用于根据划分间隔通过光掩模检测板对光掩模板的涂胶或不同区域的光强度进行矩阵测量，测量每个矩阵点，得到每个矩阵点的偏差；

图形分割反补单元，用于将图形按照划分间隔进行分割，分割成小单元，按照分割后图形每个顶点所在的坐标测量小单元矩阵中的四个点围成的区域，根据小单元矩阵中的四个点求出此点的偏差，在进行光刻前对图形进行反补。