[发明专利]一种尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管

权利要求书

1.一种尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管，包括阴极、阳极(7)和栅极(3)，所述阴极包括阴极基板(1)和制作在阴极基板(1)上表面的场发射阴极(2)，所述栅极(3)设置在阴极和阳极(7)之间，在栅极(3)上设置有与场发射阴极(2)对应的栅孔(6)；其特征在于：所述阴极基板(1)上表面对应栅孔(6)的位置设置有椎体突起结构，所述场发射阴极(2)至少覆盖住所述椎体突起结构的尖端部位，形成尖锥阴极。

2.根据权利要求1所述的尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管，其特征在于：所述栅孔(6)的内径，沿其轴向先减小再增大，形成两个燕尾相对接的结构；以最小内径的横截面，将栅极(3)分为上下两部分，阳极(7)的一侧称为上极板(4)，阴极的一侧称为下极板(5)。

3.根据权利要求1或2所述的尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管，其特征在于：所述场发射阴极(2)仅覆盖住椎体突起结构的尖端部位。

4.根据权利要求1或2所述的尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管，其特征在于：所述场发射阴极(2)至少覆盖住椎体突起结构的整个突起表面。

5.根据权利要求1或2所述的尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管，其特征在于：所述场发射阴极(2)覆盖住整个阴极基板(1)上表面区域。

6.根据权利要求1或2所述的尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管，其特征在于：所述场发射阴极(2)采用物理沉积、化学气相沉积、丝网印刷或电弧方法制作在阴极基板(1)上表面上。

7.根据权利要求1或2所述的尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管，其特征在于：所述场发射阴极(2)为纳米材料冷阴极、场发射阴极薄膜或场发射微尖阵列。

8.根据权利要求1或2所述的尖锥阴极与锥形栅孔对应的冷阴极三极管，其特征在于：所述场发射阴极(2)的材料为碳纳米管、纳米氧化锌、石墨烯中的一种或两种以上的混合。