[发明专利]影像传感器模组及其形成方法有效
申请号: | 201410212460.0 | 申请日: | 2014-05-20 |
公开(公告)号: | CN103943645B | 公开(公告)日: | 2019-04-23 |
发明(设计)人: | 王之奇;喻琼;王蔚 | 申请(专利权)人: | 苏州晶方半导体科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L21/77 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 应战;骆苏华 |
地址: | 215021 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 影像 传感器 模组 及其 形成 方法 | ||
1.一种影像传感器模组,其特征在于,包括:
基底,所述基底具有正面和与所述正面相对的背面;
位于所述基底正面的缓冲层、以及位于缓冲层表面的金属层;
倒装在基底上方的晶粒,所述晶粒具有影像感应区和环绕所述影像感应区的焊盘,且所述焊盘和金属层电连接;
位于所述金属层表面的焊接凸起;
覆盖于金属层层以及晶粒表面的塑封层;位于塑封层内的通孔,所述通孔底部暴露出金属层表面,且焊接凸起填充满所述通孔,焊接凸起顶部高于塑封层表面;
镜头组件,所述镜头组件包括镜座和镜片,其中,所述镜片通过镜座与所述基底背面相连接。
2.如权利要求1所述影像传感器模组,其特征在于,所述基底的材料为无机玻璃或有机玻璃。
3.如权利要求2所述影像传感器模组,其特征在于,还包括:滤光玻璃,所述滤光玻璃卡配于镜座上。
4.如权利要求2所述影像传感器模组,其特征在于,所述基底正面或背面形成有滤光涂层。
5.如权利要求4所述影像传感器模组,其特征在于,所述滤光涂层为IR涂层或AR涂层。
6.如权利要求1所述影像传感器模组,其特征在于,还包括:支撑部,通过所述支撑部将镜片与镜座相互固定。
7.如权利要求6所述影像传感器模组,其特征在于,所述支撑部外侧壁具有外螺纹,所述镜座内侧壁具有内螺纹,所述支撑部和所述镜座通过螺纹螺合相互固定。
8.如权利要求1所述影像传感器模组,其特征在于,所述焊接凸起顶部至塑封层表面的距离为20μm至100μm。
9.如权利要求1所述影像传感器模组,其特征在于,所述塑封层覆盖于金属层侧壁表面。
10.如权利要求1所述影像传感器模组,其特征在于,还包括:金属凸块,金属凸块位于焊盘和金属层之间,通过所述金属凸块连接所述焊盘和金属层。
11.如权利要求10所述影像传感器模组,其特征在于,还包括:覆盖于晶粒侧壁表面和金属凸块侧壁表面的点胶层。
12.如权利要求1所述影像传感器模组,其特征在于,所述金属层侧壁与基底侧壁齐平。
13.一种影像传感器模组的形成方法,其特征在于,包括:
提供若干单个的晶粒,所述晶粒具有影像感应区和环绕所述影像感应区的焊盘;
提供基底,所述基底包括若干功能区以及位于相邻功能区之间的切割道区域,所述基底功能区表面形成有缓冲层、以及位于缓冲层表面的金属层;
将所述晶粒倒装置于基底功能区的上方,且所述焊盘和金属层电连接;
在所述金属层表面形成焊接凸起;
沿所述切割道区域切割所述基底,形成若干单颗封装结构;
在切割所述基底之前或之后,形成所述镜头组件,所述镜头组件包括镜座和镜片,其中,所述镜片通过镜座与基底背面相连接;
在形成焊接凸起之前,还包括步骤:形成覆盖于所述金属层和晶粒表面的塑封层;在所述塑封层内形成通孔,所述通孔底部暴露出金属层表面;形成填充满所述通孔的焊接凸起,且所述焊接凸起顶部高于塑封层表面。
14.如权利要求13所述影像传感器模组的形成方法,其特征在于,所述基底的材料为无机玻璃或有机玻璃。
15.如权利要求14所述影像传感器模组的形成方法,其特征在于,还包括步骤:在所述镜座上形成滤光玻璃。
16.如权利要求14所述影像传感器模组的形成方法,其特征在于,在所述基底正面或背面形成滤光涂层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的