[发明专利]薄膜晶体管基板及其制作方法及显示器

说明书

本发明公开一种薄膜晶体管基板及其制作方法及显示器。该薄膜晶体管基板包括：一基板；一栅极，配置于基板上；一栅极绝缘层，配置于基板上并覆盖栅极；一主动层，配置于栅极绝缘层上并位于栅极上方，其中主动层具有一第一氧空缺部分与一第二氧空缺部分；一源极与一漏极，配置于主动层上，源极连接第一氧空缺部分，漏极连接第二氧空缺部分。

技术领域

本发明涉及薄膜晶体管基板，且特别是涉及具有欧姆接触的薄膜晶体管基板及其制作方法及具有前述薄膜晶体管基板的显示器。

背景技术

随着显示科技的日益进步，人们借着显示器的辅助可使生活更加便利，为求显示器轻、薄的特性，促使平面显示器(flat panel display，FPD)成为目前的主流。在诸多平面显示器中，液晶显示器(liquid crystal display，LCD)具有高空间利用效率、低消耗功率、无辐射以及低电磁干扰等优越特性，因此，液晶显示器深受消费者欢迎。

液晶显示器主要是由主动阵列基板、彩色滤光基板与位于两基板之间的液晶层所构成。主动阵列基板中可设置有多个底栅极薄膜晶体管以作为驱动元件或是像素的开关元件。在底栅极薄膜晶体管中，源极与漏极连接主动层的电连接品质会影响底栅极薄膜晶体管的电性表现(例如饱和电流)。因此，如何提升源极、漏极与主动层之间的电连接品质是目前极为重要的课题。

发明内容

为解决上述问题，本发明一实施例提供一种薄膜晶体管基板包括：一基板；一栅极，配置于基板上；一栅极绝缘层，配置于基板上并覆盖栅极；一主动层，配置于栅极绝缘层上并位于栅极上方，其中主动层具有一第一氧空缺部分与一第二氧空缺部分；一源极与一漏极，配置于主动层上，源极连接第一氧空缺部分，漏极连接第二氧空缺部分。

本发明一实施例提供一种薄膜晶体管基板的制作方法包括：在一基板上形成一栅极；在基板上形成一栅极绝缘层以覆盖栅极；在栅极绝缘层上形成一主动层，主动层位于栅极上方；在主动层中形成一第一氧空缺部分与一第二氧空缺部分；以及于主动层上形成一源极以及一漏极，其中源极连接第一 氧空缺部分，漏极连接第二氧空缺部分。

本发明一实施例提供一种显示器包括：一薄膜晶体管基板；一基板，与薄膜晶体管基板相对设置；以及一显示介质，形成于薄膜晶体管基板与基板之间。

附图说明

图1A-图1E为本发明一实施例的一薄膜晶体管基板的制作工艺剖视图；

图2A-图2E为本发明一实施例的一薄膜晶体管基板的制作工艺剖视图；

图3为多个具有不同主动层厚度的薄膜晶体管的磁滞效应测试结果的示意图；

图4为多个具有不同主动层厚度的薄膜晶体管的一正栅极偏压应力测试(positive gate bias stress test)结果的示意图；

图5为多个具有不同主动层厚度的薄膜晶体管的一负栅极偏压应力测试(negative gate bias stress test)结果的示意图；

图6为多个具有不同主动层厚度的薄膜晶体管的一照光及负栅极偏压应力测试结果的示意图；

图7绘示本发明一实施例的显示器的剖视图。

符号说明

100、200 薄膜晶体管基板

101、201 薄膜晶体管

110 基板

120 栅极

130 栅极绝缘层

140、210 主动(有源)层

142、144、212、214 氧空缺部分

142a、144a 凹槽