[发明专利]一种基板干燥装置及基板干燥方法

权利要求书

1.一种基板干燥装置，其特征在于，包括腔体以及设置在腔体顶部的干燥棒和感应器，腔体中装有浸没基板的液体；

干燥棒对离开液体的基板进行干燥，包括平行设置的第一干燥棒和第二干燥棒，第一干燥棒和第二干燥棒之间具有缝隙，缝隙的一端或两端设置有感应器，用于对基板离开液体的位置进行监测。

2.如权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，感应器与第一干燥棒和第二干燥棒处于同一水平位置。

3.如权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，第一干燥棒和第二干燥棒朝向缝隙方向均设置有针孔洞，并通过针孔洞向处于缝隙中的基板喷出气体。

4.如权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，所述缝隙为长条状，且缝隙的宽度大于基板的厚度。

5.如权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，腔体内部在基板两侧还设置有导轨，基板沿导轨进行运动。

6.如权利要求5所述的基板干燥装置，其特征在于，所述导轨靠近腔体顶部的一端通过枢转结构连接于腔体侧壁，导轨与竖直方向的倾斜角范围为0～90度。

7.如权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，腔体内部还设置有推杆，在腔体外部的马达控制下为基板的运动提供推力。

8.如权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，腔体的侧壁设置有液体注入管道，腔体的底部设置有液体排出管道，实现腔体内液体的循环。

9.如权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，所述干燥棒喷出的气体为氮气和异丙醇的混合气体。

10.如权利要求9所述的基板干燥装置，其特征在于，所述混合气体的气压高于标准大气压，范围为1～1.5Pa。

11.如权利要求9或10所述的基板干燥装置，其特征在于，所述混合气体中氮气的流量范围为5～20标况毫升每分，异丙醇的流量范围为0.1～0.7标况毫升每分。

12.如权利要求1所述的基板干燥装置，其特征在于，还包括气体通道，与第一干燥棒和第二干燥棒连接，用于向第一干燥棒和第二干燥棒输送气体。

13.一种基于权利要求1～12中任一项所述的基板干燥装置对基板进行干燥的方法，其特征在于，包括：

基板在推力作用力逐渐离开液体，当感应器感应到基板离开液体时位于基板两侧的第一干燥棒和第二干燥棒向基板表面喷出气体，同时基板在推力作用下继续离开液体，在气体作用下利用马拉高尼效应改变基板上液膜表面的张力，液膜表面张力梯度使液膜收缩，实现对基板表面的干燥。

14.如权利要求13所述的基板干燥方法，其特征在于，当感应器感应到基板全部离开液体时停止喷出气体。