[发明专利]一种基板干燥装置及基板干燥方法

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示技术领域，特别涉及一种基板干燥装置及基板干燥方法。

背景技术

目前在液晶显示装置加工领域内在基板的制造工序中，一般是先在玻璃基板上制作形成电路图案或彩色滤光片(color filter，简称CF)，得到阵列基板和彩膜基板，在阵列基板或彩膜基板上滴注液晶，在将二者进行对盒得到显示面板。一般在玻璃基板上制作电路图案和彩色滤光片之前需要对玻璃基板进行显影或蚀刻等药液处理。

在基板进行药液处理之前或者药液处理之后，必须使用纯水等清洗液对基板进行清洗，为了后续工艺的正常进行，还需要对清洗后的基板进行干燥处理。现有技术中对基板干燥处理较多的实施方式是一边使用滚筒式移动机等移动装置移动基板，一边进行清洗以及干燥处理。在对基板进行干燥处理的过程中，通过气刀喷出的干燥高压空气对玻璃基板进行干燥，由此从基板表面冲掉并去除清洗液。

利用气刀对基板进行干燥，一方面能够实现对基板的干燥，但另一方面，气刀喷出的高压空气容易对玻璃基板表面的光刻胶造成脱落或者部分缺失，造成刻蚀后基板上存在缺陷，降低产品良率。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是如何避免在对基板进行干燥过程中对基板表面造成的缺陷，提高产品良率。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本发明提供了一种基板干燥装置，包括腔体以及设置在腔体顶部的干燥棒和感应器，腔体中装有浸没基板的液体；

干燥棒对离开液体的基板进行干燥，包括平行设置的第一干燥棒和第二干燥棒，第一干燥棒和第二干燥棒之间具有缝隙，缝隙的一端或两端设置有感应器，用于对基板离开液体的位置进行监测。

进一步地，感应器与第一干燥棒和第二干燥棒处于同一水平位置。

进一步地，第一干燥棒和第二干燥棒朝向缝隙方向均设置有针孔洞，并通过针孔洞向处于缝隙中的基板喷出气体。

进一步地，所述缝隙为长条状，且缝隙的宽度大于基板的厚度。

进一步地，腔体内部在基板两侧还设置有导轨，基板沿导轨进行运动。

进一步地，所述导轨靠近腔体顶部的一端通过枢转结构连接于腔体侧壁，导轨与竖直方向的倾斜角范围为0～90度。

进一步地，腔体内部还设置有推杆，在腔体外部的马达控制下为基板的运动提供推力。

进一步地，腔体的侧壁设置有液体注入管道，腔体的底部设置有液体排出管道，实现腔体内液体的循环。

进一步地，所述干燥棒喷出的气体为氮气和异丙醇的混合气体。

进一步地，所述混合气体的气压高于标准大气压，范围为1～1.5Pa。

进一步地，所述混合气体中氮气的流量范围为5～20标况毫升每分，异丙醇的流量范围为0.1～0.7标况毫升每分。

进一步地，还包括气体通道，与第一干燥棒和第二干燥棒连接，用于向第一干燥棒和第二干燥棒输送气体。

为解决上述技术问题，本发明还提供了一种基于上述的基板干燥装置对基板进行干燥的方法，包括：

基板在推力作用力逐渐离开液体，当感应器感应到基板离开液体时位于基板两侧的第一干燥棒和第二干燥棒向基板表面喷出气体，同时基板在推力作用下继续离开液体，在气体作用下利用马拉高尼效应改变基板上液膜表面的张力，液膜表面张力梯度使液膜收缩，实现对基板表面的干燥。

进一步地，当感应器感应到基板全部离开液体时停止喷出气体。

(三)有益效果

本发明实施例提供的一种基板干燥装置，包括腔体以及设置在腔体顶部的干燥棒和感应器，腔体中装有浸没基板的液体；干燥棒对离开液体的基板进行干燥，包括平行设置的第一干燥棒和第二干燥棒，第一干燥棒和第二干燥棒之间具有缝隙，缝隙的一端或两端设置有感应器，用于对基板离开液体的位置进行监测。通过使用上述基板干燥装置，通过干燥棒向离开液体的基板表面喷出气体，利用马拉高尼效应改变液膜表面张力形成的表面张力梯度使液膜收缩，对基板表面进行干燥，不会造成基板表面缺陷，提高基板良率。同时本发明还提供了一种基于上述装置的基板干燥方法。

附图说明

图1是本发明实施例一中提供的一种基板干燥装置的结构图；

图2是本发明实施例二中提供的一种基板干燥方法对基板进行干燥过程的示意图。

图中编号代表的含义分别为：

1、感应器；21、第一干燥棒；22、第二干燥棒；3、导轨；4、基板；5、推杆；6、液体注入管道；7、腔体；8、液体排出管道；9、气体通道。

具体实施方式