[发明专利]链式条件下的双频等离子发生器

权利要求书

1.一种链式条件下的双频等离子发生器，包括装载台（101）、装载腔（103）、工艺腔（107）、卸载腔（110）、卸载台（112）和下传输系统（113），所述装载腔（103）的一边设有第一门阀（102），装载腔（103）另一边设有第二门阀（104），卸载腔（110）的一边设有第三门阀（109），卸载腔（110）的另一边设有第四门阀（111），其特征在于：所述工艺腔（107）前端设有缓冲腔一（105），卸载腔（110）的前端设有缓冲腔二（108），所述工艺腔（107）内设有第一电极板（204）和第二电极板（205），工艺腔（107）两端设有导电载板（201）入出的开口，所述第一电极板（204）置于导电载板（201）上方，所述第二电极板（205）置于导电载板（201）下方，所述第一电极板（204）连接高频射频电源（203），所述第二电极板（205）连接低频射频电源（206），所述第二电极板（205）与导电载板（201）通过至少一个导电滚轮或导电刷（202）连接。

2.如权利要求1所述的链式条件下的双频等离子发生器，其特征在于：所述工艺腔（107）连接真空泵（207）。

3.如权利要求1所述的链式条件下的双频等离子发生器，其特征在于：所述第一电极板（204）是由至少1个导电板平行排列而成，每个导电板分别连接到高频射频电源（203）上。

4.如权利要求1所述的链式条件下的双频等离子发生器，其特征在于：所述高频射频电源（203）的频率范围是1~60MHz。

5.如权利要求1所述的链式条件下的双频等离子发生器，其特征在于：所述第二电极板（205）是由至少1个导电板平行排列而成，导电板之间由导电线连接。

6.如权利要求1所述的链式条件下的双频等离子发生器，其特征在于：所述第一电极板（204）和第二电极板（205）可以由铝、石墨、钢等导电材料制造而成。

7.如权利要求1所述的链式条件下的双频等离子发生器，其特征在于：所述低频射频电源（206）的频率范围是0~1MHz或直流电源。