[发明专利]链式条件下的双频等离子发生器

说明书

技术领域

本发明涉及一种链式条件下的在真空装置内对工件基板进行处理的方法和装置，尤其涉及一种链式条件下的双频等离子发生器。

背景技术

等离子体是气体在电场作用下放电的一种现象，等离子发生器（又称等离子源）是在一定气体流量、压力、温度、激发功率等条件下产生等离子体的一种装置。它相当于一个电力加强的化学反应体系，对化学气相沉积镀膜、化学表面刻蚀产生各种特别效果，被广泛应用于包括半导体，液晶显示、太阳能电池电子材料的生产。

目前市场上有单频等离子发生器和多频等离子发生器。单频等离子发生器通常是在平行板电极一板上接射频电源，另一板接地。多频等离子反生器通常是在平行板电极一板上接一种射频电源，另一板电极上接另一种射频电源。其中一种射频电源是高频（1到60MHZ），另一种射频电源是低频（0-1MHZ）。需要加工的基板（例如太阳能电池硅片，液晶显示玻璃板等）放置在其中一块电极板上。利用双频电源可以控制基板上的偏压，从而改变离子轰击表面的速度，达到特别的工艺效果。

中国专利CN101656200B公开了一种多频等离子体刻蚀反应器，包括采用不同频率的电能来激发等离子体从而使得由数个频率所致的等离子体的激发同时地导致数个不同的现象发生于等离子体内的步骤，其中这些现象影响入射在该工件上的等离子体的离子能量、等离子体的离子密度和等离子体化学性质。

中国专利CN1543662A公开了一种具有可调双频分压的等离子体反应器，提供一种用于处理基板衬底的设备和方法，包括第一电极的室，设置在所述室内并提供第二电机的衬底支架，第一电极或第二电极连接的低频射频电源，并且与一个或多个所述电机之间的可变阻抗元件连接。

中国专利CN101866809A公开了一种具有响应多个RF频率的等离子体处理器，一种处理工件的等离子体处理器包括具有频率2MHz、27 MHz、60 MHz的源，他们由三个匹配网络施加于包含工件的真空腔中的电极。可选择地由第四匹配网络将60 MHz施加于第二电极。

这些等离子发生器的缺陷是：射频电源所加的电极板同时为放置需处理工件（硅片）的载板，因此整个反应过程只能在载板处于静态的条件下完成，当工艺完成后，载板需要取出，载板的进出过程浪费了工艺时间。所以，为了提高生产力（单位时间里处理硅片能力），载板必须做得很大，放置大量硅片，这种大型设备成本就很高,而且均匀性比较难控制。

发明内容

本发明旨在解决上述缺陷，提供一种链式条件下的双频等离子发生器。

为了克服背景技术中存在的缺陷，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：这种链式条件下的双频等离子发生器包括装载台、装载腔、工艺腔、卸载腔、卸载台和下传输系统，所述装载腔的一边设有第一门阀，装载腔另一边设有第二门阀，卸载腔的一边设有第三门阀，卸载腔的另一边设有第四门阀，工艺腔前端设有缓冲腔一，卸载腔的前端设有缓冲腔二，所述工艺腔内设有第一电极板和第二电极板，工艺腔两端设有导电载板入出的开口，所述第一电极板置于导电载板上方，所述第二电极板置于导电载板下方，所述第一电极板连接高频射频电源，所述第二电极板连接低频射频电源，所述第二电极板与导电载板通过至少一个导电滚轮或导电刷连接。

根据本发明的另一个实施例，进一步包括所述工艺腔连接真空泵。

根据本发明的另一个实施例，进一步包括所述第一电极板是由至少1个导电板平行排列而成，每个导电板分别连接到高频射频电源上。

根据本发明的另一个实施例，进一步包括所述高频射频电源的频率范围是1~60MHz。

根据本发明的另一个实施例，进一步包括所述第二电极板是由至少1个导电板平行排列而成，导电板之间由导电线连接。

根据本发明的另一个实施例，进一步包括所述第一电极板和第二电极板可以由铝、石墨、钢等导电材料制造而成。

根据本发明的另一个实施例，进一步包括所述低频射频电源的频率范围是0~1MHz或直流电源。

根据本发明的另一个实施例，进一步包括所述第一电极板与工艺腔上表面连接，或者突出于工艺腔上表面。

根据本发明的另一个实施例，进一步包括所述工艺腔上设有通气气管。

本发明的有益效果是：这种链式条件下的双频等离子发生器的结构简单，低频电源通过导电轮传到导电载板上，从而使基板上的偏压强度可调，设置缓冲区，可以形成连续不间断生产的链式条件，提高了生产效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的结构示意图；