[发明专利]载体衬底分离系统及方法

权利要求书

1.一种载体衬底分离系统，其包括：

加载设备，制造衬底被加载到所述加载设备中，在所述制造衬底中，包括第一面板衬底和第二面板衬底的粘结衬底被粘结至包括第一载体衬底和第二载体衬底的载体衬底，并且所述第一载体衬底或第二载体衬底在与所述粘结衬底分离后被加载到所述加载设备中；

间隙形成设备，所述间隙形成设备被构造成在所述第一面板衬底与所述第一载体衬底之间形成间隙，或者在所述第二面板衬底与所述第二载体衬底之间形成间隙；

分离设备，所述分离设备被构造成使所述第一载体衬底或所述第二载体衬底与从所述间隙形成设备转移的所述制造衬底分离；

机械手，所述机械手被构造成在所述加载设备、所述间隙形成设备和所述分离设备之间转移所述制造衬底；以及

平台，从所述加载设备转移的所述制造衬底、与所述第一载体衬底和所述第二载体衬底中的一者分离后的所述制造衬底以及与所述粘结衬底分离后的所述第一载体衬底和所述第二载体衬底中的至少一者被安置在所述平台上，

其中，所述机械手包括第一机械手和第二机械手，所述第一机械手被设置在所述加载设备与所述平台之间，所述第二机械手被设置在所述间隙形成设备与所述分离设备之间，以及

其中，所述分离设备包括被构造成支撑所述制造衬底的第一平台和被设置成与所述第一平台分离的第二平台，并且所述分离设备还包括O形环，所述O形环被联接至所述第二平台以沿所述第一平台的外部方向从所述第二平台突出，并且被构造成沿所述第二平台的外部部分形成闭环。

2.根据权利要求1所述的载体衬底分离系统，其中，所述间隙形成设备包括：

支撑部件，所述支撑部件被构造成支撑所述制造衬底；以及

分离单元，所述分离单元被构造成使所述第一载体衬底或所述第二载体衬底的突出部与所述粘结衬底分离，所述突出部沿所述制造衬底的外部方向比所述粘结衬底突出得更远。

3.根据权利要求2所述的载体衬底分离系统，其中，所述间隙形成设备还包括对准单元，所述对准单元被构造成使所述突出部与所述分离单元对准。

4.根据权利要求2所述的载体衬底分离系统，其中，所述间隙形成设备还包括插入单元，所述插入单元通过所述分离设备被插入在所述粘结衬底与所述第一载体衬底或所述第二载体衬底的所述突出部之间形成的间隙中。

5.根据权利要求1所述的载体衬底分离系统，其中，所述分离设备还包括：

吸附单元，所述吸附单元被设置在所述第二平台处以被连接至在所述第二平台中形成的吸附孔，并且被构造成通过所述吸附孔吸附所述载体衬底以使所述载体衬底与所述粘结衬底分离；以及

抽吸单元，所述抽吸单元被设置在所述第一平台处以被连接至在所述第一平台处形成的抽吸孔，并且被构造成通过所述抽吸孔抽吸所述制造衬底以将所述制造衬底紧密地粘附至所述第一平台。

6.根据权利要求5所述的载体衬底分离系统，其中，所述分离设备还包括间隙调节单元，所述间隙调节单元被插入所述第一平台与所述第二平台之间，并且被构造成保持所述第一平台与所述第二平台之间的恒定间隔。

7.根据权利要求5所述的载体衬底分离系统，其中，所述分离设备还包括静电去除器，所述静电去除器被插入所述第一平台与所述第二平台之间，并且被构造成接触与所述第一载体衬底和所述第二载体衬底分离的所述粘结衬底并从所述粘结衬底去除静电。

8.一种载体衬底分离方法，其包括：

将制造衬底转移至间隙形成设备，在所述制造衬底中，包括第一面板衬底和第二面板衬底的粘结衬底被粘结至包括第一载体衬底和第二载体衬底的载体衬底，以在所述第一面板衬底与被粘附至所述第一面板衬底的所述第一载体衬底之间形成第一间隙；

将其中形成有所述第一间隙的所述制造衬底转移至分离设备，以使所述第一载体衬底与所述第一面板衬底分离，其中，所述分离设备包括被构造成支撑所述制造衬底的第一平台和被设置成与所述第一平台分离的第二平台，并且所述分离设备还包括O形环，所述O形环被联接至所述第二平台以沿所述第一平台的外部方向从所述第二平台突出，并且被构造成沿所述第二平台的外部部分形成闭环；

将与所述第一载体衬底分离的所述制造衬底转移至所述间隙形成设备，以在所述第二面板衬底与被粘附至所述第二面板衬底的所述第二载体衬底之间形成第二间隙；以及

将其中形成有所述第二间隙的所述制造衬底转移至所述分离设备，以使所述第二载体衬底与所述第二面板衬底分离。