[发明专利]清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置

权利要求书

1.一种清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置，包括电机驱动机构(1)，所述的电机驱动机构(1)的输出端连接涡轮组件(2)，所述的涡轮组件(2)啮合蜗杆组件(3)，其特征在于，所述的蜗杆组件(3)包括中空的蜗杆(31)，蜗杆(31)的一端密封连接具有进水口(41)的旋转轴组件(4)，另一端可拆卸的连接喷杆(5)，所述的喷杆(5)的端部密封且喷杆(5)的侧壁设有若干喷嘴(51)。

2.根据权利要求1所述的清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置，其特征在于，所述的电机驱动机构(1)通过减速机(6)连接涡轮组件(2)，所述的涡轮组件(2)包括与减速机(6)的输出轴固接的涡轮(21)，涡轮(21)与蜗杆(31)啮合。

3.根据权利要求2所述的清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置，其特征在于，所述的旋转轴组件(4)包括中空的旋转轴(40)，旋转轴(40)的一端设有进水口(41)，旋转轴(40)远离进水口(41)的另一端与蜗杆(31)紧密接触且旋转轴(40)与蜗杆(31)的接触部外面套设有密封函组件(7)。

4.根据权利要求3所述的清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置，其特征在于，所述的旋转轴(40)和蜗杆(31)外还套设有机座套(8)，且旋转轴(40)的进水口(41)和蜗杆(31)的一端延伸出机座套(8)外，蜗杆(31)延伸出机座套(8)外的一端通过法兰组件(9)连接喷杆(5)。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置，其特征在于，所述的喷杆(5)的端部用堵头(52)密封。

6.根据权利要求2或3或4所述的清洗多晶硅反应釜的高压旋转喷杆装置，其特征在于，所述的减速机(6)通过连接件(10)与机座套(8)固定连接，且减速机(6)的输出轴与连接件(10)活动连接，所述的喷杆(5)与连接件(10)活动连接。