[发明专利]流体压力缸有效
申请号: | 201410227866.6 | 申请日: | 2014-05-27 |
公开(公告)号: | CN104214166B | 公开(公告)日: | 2017-06-06 |
发明(设计)人: | 日下浩志 | 申请(专利权)人: | SMC株式会社 |
主分类号: | F15B15/14 | 分类号: | F15B15/14;F15B15/22;F15B15/26;H01L21/68;H01L21/687 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所31210 | 代理人: | 梅高强,崔巍 |
地址: | 日本国东京都千*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 流体 压力 | ||
1.一种流体压力缸,其特征在于,包含:
本体(12),所述本体(12)中具有缸腔(22),驱动流体被供给到所述缸腔(22);
缸单元(16),所述缸单元(16)配置在所述本体(12)中,并且具有活塞(14)和活塞杆(26),所述活塞(14)可位移地配置在所述缸腔(22)中,所述活塞杆(26)被连接到所述活塞(14);
供给杆(18),所述供给杆(18)可位移地并且与所述活塞杆(26)实质上平行地配置在所述本体(12)中,并且具有流体通道(88),工件保持流体被供给到所述流体通道(88),用于保持工件的保持构件(84)安装在所述供给杆(18)的端部上,所述保持构件(84)与所述流体通道(88)连通;
位移块(92),所述位移块(92)连接到所述供给杆(18)和所述活塞杆(26)的端部,并且在所述活塞(14)的位移动作下位移;和
缓冲机构(94),所述缓冲机构(94)缓冲施加于所述位移块(92)的负载,并且被配置在所述位移块(92)和所述活塞杆(26)之间;
其中,所述缓冲机构(94)包括缓冲杆(112),所述缓冲杆(112)配置成与所述活塞杆(26)同轴,并且被插入通过所述位移块(92)的孔(100),所述缓冲杆(112)的外周表面形成为锥形形状,其直径朝向所述本体(12)逐渐地减小。
2.如权利要求1所述的流体压力缸,其特征在于,所述供给杆(18)与所述位移块(92)螺纹接合,用于在轴线方向上前进和退回。
3.如权利要求1所述的流体压力缸,其特征在于,筒形衬套(110)以面向所述缓冲杆(112)的所述外周表面的关系配置在所述位移块(92)的所述孔(100)中,所述衬套(110)的内周表面被形成为锥形形状,其直径朝向所述本体(12)逐渐地减小,从而所述内周表面和所述缓冲杆(112)的所述外周表面实质上被平行地配置。
4.如权利要求2所述的流体压力缸,其特征在于,用于调节所述供给杆(18)沿着所述轴线方向的位移的锁紧装置配置在所述位移块(92)上。
5.如权利要求4所述的流体压力缸,其特征在于,所述锁紧装置包含螺纹构件(122),所述螺纹构件(122)配置在所述位移块(92)上,并且沿着垂直于所述轴线方向的方向可位移地螺纹接合,所述螺纹构件(122)抵靠所述供给杆(18)的外周表面。
6.如权利要求1所述的流体压力缸,其特征在于,所述保持构件(84)包括吸垫,所述工件保持流体供给到所述吸垫。
7.如权利要求1所述的流体压力缸,其特征在于,依据所述缓冲杆(112)相对于所述位移块(92)在轴线方向上的相对位移,所述缓冲杆(112)和所述孔(100)之间的间隙被扩大。
8.如权利要求7所述的流体压力缸,其特征在于,弹簧(108)配置在所述位移块(92)和所述缓冲杆(112)之间,所述弹簧(108)在所述轴线方向上偏压所述缓冲杆(112),当在所述轴线方向上被施加到所述缓冲杆(112)的推力克服所述弹簧(108)的弹力时,所述缓冲杆(112)和所述位移块(92)彼此相对地位移。
9.如权利要求1所述的流体压力缸,其特征在于,所述本体(12)、所述供给杆(18)和所述位移块(92)由导电的金属材料形成。
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