[发明专利]流体压力缸

说明书

技术领域

本发明涉及一种流体压力缸，在该流体压力缸中，活塞在压力流体的供给下沿轴线方向位移。

背景技术

迄今为止，例如一种流体压力缸已经被用于作为运输工件的装置，该流体压力缸具有在压力流体的供给下位移的活塞。对于这样的流体压力缸，例如，板被配置在活塞杆的端部上，该活塞杆被连接到活塞，并且吸垫被安装在板上，该吸垫能够吸住工件。此外，活塞通过供给到流体压力缸的压力流体位移，从而板朝向工件侧移动，并且通过抵接工件，工件被吸力吸到吸垫上。此时，因为缓冲机构被配置在板上，该缓冲机构能够缓冲沿轴线方向施加的震动(负载)，当板抵接工件时，相对于工件施加的荷载被缓冲机构抑制。

发明内容

例如，对于韩国专利No.10-0840271公开的流体压力缸，被平行配置的活塞杆和吸管分别被连接到相同的板。所以，例如，在流体压力缸中，在由于装配条件或制造差异，活塞杆和吸管不平行的情况下，或在活塞杆等相对于板上的孔偏心的情况下，活塞杆等等易于咬入配置在孔中的衬套，并且导致缓冲机构不能适当地操作的锁紧条件。因此，当板朝向工件移动并且抵接工件时，负载被施加于工件而缓冲机构没有起适当的作用。例如，如果是易碎工件，诸如半导体芯片等，易于导致工件的损坏。

为了解决上述问题，虽然可以考虑增加活塞杆和吸管之间的平行度，或者除了确保平行外，增大活塞杆、吸管和衬套之间的间隙的尺寸从而吸收其间的偏差，如果间隙的尺寸被增大，伴随着被吸垫保持的工件转动，板由于活塞杆和吸管偏离它们的预定位置而转动。因此，在运输工件期间工件的转动要被调节的情况下，工件不能被放置在期望的位置上。

本发明的主要目的是提供一种流体压力缸，其中位移块的旋转能够被抑制，同时使位移块能够沿轴线方向平滑地移动。

根据本发明的流体压力缸包括：

本体，在其中具有缸腔，驱动流体被供给到该缸腔；

缸单元，该缸单元被配置在本体中，并且具有活塞和活塞杆，该活塞被可位移地配置在缸腔中，该活塞杆被连接到活塞；

供给杆，供给杆被可位移地并且与活塞杆实质上平行地配置在本体中，并且具有流体通道，工件保持流体被供给进该流体通道，用于保持工件的保持构件被安装在供给杆的端部上，保持构件与流体通道连通；

位移块，该位移块被连接到供给杆和活塞杆的端部，并且在活塞的位移动作下位移；和

缓冲机构，该缓冲机构缓冲施加于位移块的负载，并且被配置在位移块和活塞杆之间；

其中，缓冲机构包括缓冲杆，该缓冲杆被配置成与活塞杆同轴，并且被插入位移块的孔，缓冲杆的外周表面被形成为锥形形状，其直径朝向本体逐渐地缩小。

根据本发明，缸单元的活塞杆和供给杆被配置成基本平行，并且位移块被连接到供给杆和活塞杆的端部，该活塞杆被可位移地配置在本体的内部，该供给杆被可位移地配置在本体内并且保持构件能够将工件保持在其一端上。同时，被配置在位移块和活塞杆之间的缓冲机构，被配置成与活塞杆同轴，并且包括缓冲杆，该缓冲杆被插入位移块的孔中。进一步，由于缓冲杆的外周表面被形成为锥形形状并且其直径朝向本体逐渐地缩小，所以施加于位移块的负载可以被缓冲。

因而，当在缸单元的驱动动作下保持构件抵接并且保持工件时，因为在位移块和缓冲杆之间沿径向方向的间距保持较小直到抵接工件，缓冲杆被保持以高精度沿轴线方向，并且位移块绕着供给杆的旋转位移能够被抑制。

另一方面，在保持构件已经抵接工件后，在额外荷载被朝向工件侧施加的情况下，缓冲杆相对于位移块沿轴线方向相对地位移，从而在缓冲杆和位移块的孔之间沿径向方向的间距能够被扩大。所以，例如，即使在位移块的孔相对于缓冲杆偏心或偏移的情况下，因为依据位移块的位移该偏心度能够被间距的扩大而吸收，无论如何，缓冲杆也能够相对于位移块沿轴线方向平滑地位移。

更具体地，位移块绕着供给杆的旋转位移被缓冲机构抑制，此外，缓冲杆能够平滑地相对于位移块沿轴线方向相对地位移，并且抵接工件时发生的负载能够适当地被吸收。

通过下面的说明，并结合以示意性实例的方式显示的本发明的优选实施例的附图时，本发明的上述和其他的目的、特点和优点变得更加地清楚。

附图说明

图1是根据本发明的实施方式的流体压力缸的整体截面图；

图2显示图1的流体压力缸中的缸单元附近的放大截面图；

图3显示图1的流体压力缸中的位移构件附近的放大截面图；

图4显示图3所示缓冲杆附近的放大截面图；