[发明专利]磁控溅射装置及其溅射阴极

权利要求书

1.一种溅射阴极，用于承载待溅射的靶材，其特征在于，所述溅射阴极包括：

阴极门板，包括板体及围绕所述板体的边缘设置的侧板，所述侧板围绕形成一安装区域；

阴极，固定于所述阴极门板上，并位于所述安装区域内，所述阴极与阴极门板是绝缘的，所述阴极用于与电源负极连接，所述靶材可承载于所述电源阴极上；

阳极罩，包括围绕呈筒状的侧壁，以及由侧壁的一端向内弯折并延伸形成的遮挡板，所述阳极罩套设并固定于所述侧板上，所述遮挡板覆盖所述侧板，所述阳极罩由导电材料制成，且与所述阴极门板电连接。

2.根据权利要求1所述的溅射阴极，其特征在于，所述阴极上设有铜背板，所述铜背板与所述阴极也连接，且所述铜背板用于承载所述靶材。

3.根据权利要求2所述的溅射阴极，其特征在于，所述铜背板上设有压条，以将所述靶材压持于所述铜背板上。

4.根据权利要求1所述的溅射阴极，其特征在于，所述靶材承载于所述阴极上时，所述遮挡板与所述靶材的表面的距离为20至40毫米。

5.根据权利要求4所述的溅射阴极，其特征在于，还包括螺纹紧固件，所述侧壁上开设有条形孔，所述螺纹紧固件穿设于所述条形孔并与所述侧板螺合，以固定所述阳极罩，所述螺纹紧固件沿所述条形孔可滑动，以调节所述靶材与所述遮挡板之间的距离。

6.根据权利要求1所述的溅射阴极，其特征在于，所述阳极罩由不锈钢制成。

7.根据权利要求1所述的溅射阴极，所述靶材承载于所述阴极时，所述遮挡板末端与所述靶材表面的距离为20至40毫米。

8.一种磁控溅射装置，其特征在于，包括如上述权利要求1～7任一项所述的溅射阴极。