[发明专利]终点检测系统及其运行状态监测方法

权利要求书

1.一种终点检测系统运行状态监测方法，其特征在于，包括如下步骤：

读取参照样本中的第一工艺信号曲线，并实时监测设置有终点检测系统的工艺机台进行工艺时的第二工艺信号曲线；

比对所述第一工艺信号曲线和所述第二工艺信号曲线，判断所述终点检测系统运行状态，包括：

提取所述第一工艺信号曲线的第一信号最大强度值和/或第一背底信号平均值或第一信号振动幅度平均值，提取所述第二工艺信号曲线的第二信号最大强度值和/或第二背底信号平均值或第二信号振动幅度平均值，比较所述第一工艺信号曲线的第一信号最大强度值和/或第一背底信号平均值或第一信号振动幅度平均值和对应的所述第二工艺信号曲线的第二信号最大强度值和/或第二背底信号平均值或第二信号振动幅度平均值，判断所述终点检测系统运行状态；

当所述终点检测系统运行状态正常时，控制所述工艺机台继续进行所述工艺；当所述终点检测系统运行状态异常时，控制所述工艺机台停止当前所述工艺；

其中：

所述第一信号最大强度值为第一工艺信号曲线中，表征工艺机台进行工艺启辉时的信号最大强度值；

所述第二信号最大强度值为第二工艺信号曲线中，表征工艺机台进行工艺启辉时的信号最大强度值；

所述第一背底信号平均值为第一工艺信号曲线中，表征工艺机台进行工艺灭辉时的背底信号平均值；

所述第二背底信号平均值为第二工艺信号曲线中，表征工艺机台进行工艺灭辉时的背底信号平均值；

所述第一信号振动幅度平均值为第一工艺信号曲线中，表征工艺机台进行工艺灭辉时的信号振动幅度平均值；

所述第二信号振动幅度平均值为第二工艺信号曲线中，表征工艺机台进行工艺灭辉时的信号振动幅度平均值。

2.根据权利要求1所述的终点检测系统运行状态监测方法，其特征在于，所述比对所述第一工艺信号曲线和所述第二工艺信号曲线，判断所述终点检测系统运行状态，包括如下步骤：

根据所述第一工艺信号曲线和所述第二工艺信号曲线，分别提取第一信号最大强度值和第二信号最大强度值；

根据：计算所述第一判定参数；

检测所述第一判定参数是否小于第一预设值；

当所述第一判定参数小于所述第一预设值时，控制所述终点检测系统正常运行；

当所述第一判定参数大于或等于所述第一预设值时，发出报警；

其中，所述第一信号最大强度值为所述第一工艺信号曲线中，表征所述工艺机台进行所述工艺启辉时的信号最大强度值；

所述第二信号最大强度值为所述第二工艺信号曲线中，表征所述工艺机台进行所述工艺启辉时的信号最大强度值；

所述第一预设值的取值范围为[0.5，1]。

3.根据权利要求1所述的终点检测系统运行状态监测方法，其特征在于，所述比对所述第一工艺信号曲线和所述第二工艺信号曲线，判断所述终点检测系统运行状态，包括如下步骤：

根据所述第一工艺信号曲线和所述第二工艺信号曲线，分别提取第一背底信号平均值和第二背底信号平均值；

根据：计算所述第二判定参数；

检测所述第二判定参数是否小于第二预设值；

当所述第二判定参数小于所述第二预设值时，控制所述终点检测系统正常运行；

当所述第二判定参数大于或等于所述第二预设值时，发出报警；

其中，所述第一背底信号平均值为所述第一工艺信号曲线中，表征所述工艺机台进行所述工艺灭辉时的背底信号平均值；

所述第二背底信号平均值为所述第二工艺信号曲线中，表征所述工艺机台进行所述工艺灭辉时的背底信号平均值；

所述第二预设值的取值范围为[1，2]。