[发明专利]斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法

权利要求书

1.一种斜入射反射型点衍射板，其特征在于，该点衍射板的基底采用折射率均匀的光学玻璃，且该光学玻璃为厚度为h的平行平板结构；所述基底的入射面上部镀有透过率为t₁的增透膜、下部镀有透过率为r₁的介质膜，基底的反射面上部镀有反射率为r₂的高反膜、下部镀有透过率为t₂的增透膜；所述入射面下部的介质膜内设有一个椭圆孔，该椭圆孔的中心到入射面上部增透膜的距离为d；所述基底反射面上部的高反膜在入射面上的投影与入射面下部的介质膜部分重叠，使反射面上部的高反膜只将入射光反射一次。

2.根据权利要求1所述的斜入射反射型点衍射板，其特征在于，所述光学玻璃为厚度为h的平行平板结构，其中h如下式所示：

h=NλF8cosθtan[arcsin(sinθn)]]]>

其中，N为探测器横向像素数，λ为入射光的中心波长，F为会聚光束的F数，n为点衍射板基底的折射率，θ为点衍射板的工作角度，即会聚光束的光轴与点衍射板入射面法线的夹角。

3.根据权利要求1所述的斜入射反射型点衍射板，其特征在于，所述入射面上部增透膜的透过率t₁≥50％、下部介质膜的透过率r₁≤0.1％，所述反射面上部高反膜的反射率r₂≥90％、下部增透膜的透过率t₂≥90％。

4.根据权利要求1所述的斜入射反射型点衍射板，其特征在于，所述椭圆孔的长轴与短轴之比为且所述椭圆孔的短轴长b满足下式：

b<1.22λF。

5.根据权利要求1所述的斜入射反射型点衍射板，其特征在于，所述椭圆孔的中心到入射面上半部分增透膜的距离d满足下式：

2hsin[arctan(12F)]tan[arcsin(sinθn)]sin[π2+θ-arctan(12F)]sinθ<d<2htan[arcsin(sinθn)].]]>