[发明专利]一种MEMS压力传感器的加盖方法及其装置在审
| 申请号： | 201410240484.7 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN105197873A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 王从亮;韩林森;龚平 | 申请（专利权）人： | 无锡华润安盛科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人： | 庞聪雅 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压力传感器 加盖 方法 及其 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS压力传感器的加盖方法，其特征在于：包括，
用点胶装置将MEMS压力传感器的凹槽边缘涂上胶水；以及，
利用吸附装置吸取盖子放置在所述MEMS压力传感器的凹槽内，完成加盖。
2.根据权利要求1所述的MEMS压力传感器的加盖方法，其特征在于：在所述用点胶装置将MEMS压力传感器的凹槽边缘涂上胶水之后，吸嘴吸取盖子放置在所述MEMS压力传感器的凹槽内，完成加盖之前，还包括，
将装载盖子的治具内装满盖子。
3.一种采用如权利要求1所述的MEMS压力传感器的加盖方法的装置，其特征在于：包括，
点胶装置，所述点胶装置能够将MEMS压力传感器的凹槽边缘涂上胶水；
吸附装置，所述吸附装置能够通过真空泵使得吸嘴吸附盖子；以及，
控制装置，所述控制装置能够控制点胶装置将MEMS压力传感器的凹槽边缘涂上胶水，并通过控制真空泵使得吸嘴吸附盖子。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于：所述点胶装置通过软管与所述控制装置相连接，所述点胶装置包括点胶头。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于：所述点胶头包括，
针管，所述针管为中空结构，其上端与所述软管相连接；
活塞，所述活塞设置于所述针管内部，能够推动所述针管中的液体定向移动；以及，
针头，所述针头设置于所述针管的下端。
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