[发明专利]一种MEMS压力传感器的加盖方法及其装置

说明书

技术领域

本发明属于压力传感器技术领域，涉及一种为MEMS压力传感器的加盖的加盖方法及其加盖装置。

背景技术

MEMS压力传感器是一种薄膜元件，受到压力时变形。可以利用应变仪(压阻型感测)来测量这种形变，也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。其广泛运用于汽车行业、医疗市场以及工业领域。

MEMS压力传感器在汽车中的一个新应用是传动系统压力感测，通常用于自动装置之中，但也用于新型双离合器传动系统。现有技术推出了一款MEMS解决方案，使用油来保护硅薄膜，使其可以最高耐受70巴的压力。

MEMS压力传感器应用于医疗市场主要充当外科手术使用的一次性低成本导管。但它们也用于昂贵的设备之中，在连续气道正压通气(CPAC)机中感测压力与差流。

而在工业领域，MEMS压力传感器的主要应用包括采暖通风及空调(HVAC)、水平面测量、各种工业过程与控制应用。例如，除了精确的高度气压测量，飞机使用传感器监测引擎、襟翼等其它部件。

带有盖子的MEME压力传感器，把芯片装在预开口的空腔里，然后盖上中间开孔的盖子，这样既可以保护芯片，又使芯片与外界气压同步。现有的加盖方式为：人工加盖，用镊子夹住盖子，蘸上胶水，放入产品的相应的凹槽里。产品盖子尺寸较小，为3.8*4.8mm，如图3所示，用于人工操作，效率很低，同时镊子可能会接触到芯片，造成芯片损伤。

发明内容

本部分的目的在于概述本发明的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和发明名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和发明名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本发明的范围。

鉴于上述和/或现有MEMS压力传感器的加盖方法及其装置中存在的问题，提出了本发明。

因此，本发明的一个目的是提供一种MEMS压力传感器的加盖方法，以改变现有的人工加盖的弊端。

为解决上述技术问题，本发明提供了如下技术方案：一种MEMS压力传感器的加盖方法，包括，用点胶装置将MEMS压力传感器的凹槽边缘涂上胶水；以及，利用吸附装置吸取盖子放置在所述MEMS压力传感器的凹槽内，完成加盖。

作为本发明所述MEMS压力传感器的加盖方法的一种优选方案，其中：在所述用点胶装置将MEMS压力传感器的凹槽边缘涂上胶水之后，吸嘴吸取盖子放置在所述MEMS压力传感器的凹槽内，完成加盖之前，还包括，将装载盖子的治具内装满盖子。

本发明的另一个目的是，提供一种根据所述的MEMS压力传感器的加盖方法所利用的装置，以实现半自动化生产，减少人工干预，提升产品质量的稳定性。

为解决上述技术问题，本发明提供了如下技术方案：一种采用MEMS压力传感器的加盖方法的装置，包括，点胶装置，所述点胶装置能够将MEMS压力传感器的凹槽边缘涂上胶水；吸附装置，所述吸附装置能够通过真空泵使得吸嘴吸附盖子；以及，控制装置，所述控制装置能够控制点胶装置将MEMS压力传感器的凹槽边缘涂上胶水，并通过控制真空泵使得吸嘴吸附盖子。

作为本发明所述装置的一种优选方案，其中：所述点胶装置通过软管与所述控制装置相连接，所述点胶装置包括点胶头。

作为本发明所述装置的一种优选方案，其中：所述点胶头包括，针管，所述针管为中空结构，其上端与所述软管相连接；活塞，所述活塞设置于所述针管内部，能够推动所述针管中的液体定向移动；以及，针头，所述针头设置于所述针管的下端。

本发明与现有技术相比，实现了半自动化生产，减少了人工干预，提升了产品质量的稳定性，提升了产能。加盖作业时，作业员远离胶水等化学产品，对作业员的EHS(环境Environment、健康Health、安全Safety)有保护。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。其中：

图1为本发明所述装置的结构示意图；

图2为本发明向所述MEMS压力传感器的凹槽点加胶水的示意图；

图3为本发明所述MEMS压力传感器的凹槽示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。