[发明专利]晶圆分批流程卡的生成方法及系统

权利要求书

1.一种晶圆分批流程卡的生成方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

步骤1、提供一批次晶圆，获取该批次晶圆中每个晶圆所需要完成的工艺步骤的种类和每个晶圆的编号，并以每个工艺步骤的种类对所述编号进行归类，形成初始晶圆信息数据；

步骤2、对所述初始晶圆信息数据进行拆分，以工艺步骤种类与所述编号一一对应的方式形成扩展晶圆信息数据；

步骤3、将相同的所述编号所对应的工艺步骤进行合并，以所述编号与工艺流程相对应的方式形成第一合并晶圆信息数据；

步骤4、将相同的所述工艺流程所对应的编号进行合并，以所述工艺流程与晶圆子批次相对应的方式形成第二合并晶圆信息数据；

步骤5、根据所述第二合并晶圆信息数据制备该批次晶圆的晶圆分批流程卡；

其中，所述工艺流程为每个所述编号所对应的所有的工艺步骤按先后顺序排列后的集合；所述晶圆子批次为每个所述工艺流程所对应的所有所述编号的集合。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述初始晶圆信息数据中的每一个工艺步骤的种类对应至少一个所述编号。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工艺流程包含至少一个工艺步骤。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述扩展晶圆信息数据中的所述编号按照其所对应的工艺步骤种类的先后顺序进行排列。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第一合并晶圆信息数据中，每个所述工艺流程均按照所述编号顺序进行排列。

6.一种晶圆分批流程卡的生成系统，其特征在于，所述系统包括：

一输入单元，通过所述输入单元输入一批次晶圆中每个晶圆所需要完成的工艺步骤的种类和每个晶圆的编号，并以每个工艺步骤的种类对所述编号进行归类，形成初始晶圆信息数据；

一拆分单元，通过该拆分单元对所述初始晶圆信息数据进行拆分，以工艺步骤种类与所述编号一一对应的方式形成扩展晶圆信息数据；

一第一合并单元，通过该第一合并单元，将相同的所述编号所对应的工艺步骤进行合并，以所述编号与工艺流程相对应的方式形成第一合并晶圆信息数据；

一第二合并单元，通过该第二合并单元，将相同的所述工艺流程所对应的编号进行合并，以所述工艺流程与晶圆子批次相对应的方式形成第二合并晶圆信息数据；

一流程卡生成单元，该流程卡生成单元根据所述第二合并晶圆信息数据生成该批次晶圆的晶圆分批流程卡；

其中，所述工艺流程为每个所述编号所对应的所有的工艺步骤按先后顺序排列后的集合；所述晶圆子批次为每个所述工艺流程所对应的所有所述编号的集合。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述系统被设置于一台或多台计算机中。

8.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述系统被固化于一枚或一组芯片内。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述一枚或一组芯片被设置于一具有输出装置的终端内。

10.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述终端为一移动终端或一固定终端。