[发明专利]滤除异物噪声的亮点检测设备及其方法在审
申请号: | 201410246662.7 | 申请日: | 2014-06-05 |
公开(公告)号: | CN105092209A | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 林品杰;李耀生 | 申请(专利权)人: | 由田新技股份有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 何为;李宇 |
地址: | 中国台湾新北市中*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 异物 噪声 亮点 检测 设备 及其 方法 | ||
1.一种滤除异物噪声的亮点检测设备,用于对一待测面板的表面进行检测以取得该待测面板的亮点分布影像,其特征在于该亮点检测设备包含有:
一检测平台,供该待测面板设置;
一取像装置,设置于该检测平台一侧,依据一摄像指令对该待测面板的表面进行取像;
一背面光源,设置于该检测平台相对该取像装置的一侧;
一或数个侧向光源,设置于该检测平台的一正面及/或一背面的周侧;以及
一运算器,包含有一取像指示器以及一影像处理器,该取像指示器藉由启动该背面光源并传送该摄像指令至该取像装置以取得一混和瑕疵表面影像,藉由启动该侧向光源并传送该摄像指令至该取像装置以取得一异物瑕疵表面影像,该影像处理器依据该异物瑕疵表面影像而滤除该混和瑕疵表面影像上的异物噪声,藉以输出一亮点分布影像。
2.如权利要求1所述的亮点检测设备,其特征在于,该侧向光源分别设置于该检测平台的正面二侧及该检测平台的背面二侧。
3.如权利要求1或2所述的亮点检测设备,其特征在于,该侧向光源的照射方向与该待测面板的表面间的夹角介于20度至30度之间。
4.如权利要求1或2所述的亮点检测设备,其特征在于,该侧向光源的照射方向与该待测面板的表面间的夹角为25度。
5.一种滤除异物噪声的亮点检测方法,其透过一取像装置对一待测面板的表面进行检测,以取得该待测面板的亮点分布影像,其特征在于该方法包含有以下步骤:
提供一背面光源至该待测面板,并由该取像装置拍摄该待测面板而取得一混和瑕疵表面影像;
提供一或多数个侧向光源于该待测面板的正面及/或提供一或多数个侧向光源于该待测面板的背面,并由该取像装置拍摄该待测面板而取得一异物瑕疵表面影像;以及
依据该异物瑕疵表面影像而滤除该混和瑕疵表面影像上的异物噪声,藉以输出一亮点分布影像。
6.如权利要求5所述的亮点检测设备,其特征在于,该侧向光源分别设置于该检测平台的正面二侧及该检测平台的背面二侧。
7.如权利要求5或6所述的亮点检测设备,其特征在于,该侧向光源的照射方向与该待测面板的表面间的夹角介于20度至30度之间。
8.如权利要求5或6所述的亮点检测设备,其特征在于,该侧向光源的照射方向与该待测面板的表面间的夹角为25度。
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