[发明专利]滤除异物噪声的亮点检测设备及其方法在审
申请号: | 201410246662.7 | 申请日: | 2014-06-05 |
公开(公告)号: | CN105092209A | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 林品杰;李耀生 | 申请(专利权)人: | 由田新技股份有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 何为;李宇 |
地址: | 中国台湾新北市中*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 异物 噪声 亮点 检测 设备 及其 方法 | ||
技术领域
本发明有关于一种亮点检测设备,尤指一种可滤除异物噪声的亮点检测设备。
背景技术
目前于业界中,一个完整的面板(panel)制程,必须至少经过以下几种检测:1.玻璃基板及彩色滤光片的检测。2.面板(panel)、偏光片(polarizationsheet)上的亮点、碎亮点检测。3.不均匀(Mura)的检测,通常是在液晶胞工程或模块工程中进行。4.数组电路工程中的瑕疵检测。
其中,面板及偏光片上的亮点、碎亮点,为面板制程中常见的瑕疵。于偏光片或面板制作完成时,会先藉由自动光学检测系统(AutomatedOpticalInspection,AOI)对偏光片或面板的表面进行非接触式的检查。一般代表性的作法,系利用光学仪器取得成品的表面状态,再以计算机影像处理技术来检出异物或图案异常等瑕疵。这类的亮点、碎亮点的瑕疵影像,被检测出时将会被自动分类,并被标示为待测点,以供后续的最终质量管理人员(FinalQualityControl,FQC)以人工目测的方式进行最后的判定。
已知有关于面板检测的技术,针对这类亮点、碎亮点,具有固定的检测步骤,其检测步骤如下:将待测面板输送至检测平台,并提供上、下光源(即背光源)打光于该面板上藉以显示出偏光板、或面板上的瑕疵点,显示出的瑕疵点藉由检测镜头(CCDcamera)拍摄后取得。所取得的瑕疵影像藉由影像处理器经二值化处理后,将可以取得对应的亮点、碎亮点。藉由进一步定义前述亮点及碎亮点的位置及坐标,所述的瑕疵面板(亮点、碎亮点)可藉由激光熔接法进行瑕疵补修,藉以提升产品的良率。
但,藉由上、下光源所打出的瑕疵影像,除上述于制程中所产生的亮点、碎亮点外,尚有可能会显示出附着于面板、偏光片上的异物(如灰尘、毛发),这类异物将会导致于检测过程中产生误判(overkill)的状况。
发明内容
本发明目的,在于解决已知检测方式中,无法分辨面板瑕疵及异物,因而导致产生误判(overkill)的状况。
为达到上述目的,本发明提供一种滤除异物噪声的亮点检测设备,用于对待测面板的表面进行检测以取得该待测面板的亮点分布影像,该亮点检测设备包含有一供该待测面板设置的检测平台,一设置于该检测平台一侧的取像装置,一设置于该检测平台相对该取像装置一侧的背面光源,一或多数个设置于该待测面板的一正面及/或一背面周侧的侧向光源,以及一运算器。该取像装置依据摄像指令对该待测面板的表面进行取像。该运算器包含有一取像指示器,以及一影像处理器。该取像指示器藉由启动该背面光源并传送该摄像指令至该取像装置以取得一混和瑕疵表面影像,藉由启动该侧向光源并传送该摄像指令至该取像装置以取得一异物瑕疵表面影像,该影像处理器依据该异物瑕疵表面影像滤除该混和瑕疵表面影像上的异物噪声,藉以输出一亮点分布影像。
进一步地,该侧向光源分别设置于该检测平台的正面二侧及该检测平台的背面二侧。
进一步地,该侧向光源的照射方向与该待测面板的表面间的夹角介于20度至30度之间。
进一步地,该侧向光源的照射方向与该待测面板的表面间的夹角大约为25度。
本发明的另一目的,在于提供一种滤除异物噪声的碎亮点检测方法,透过取像装置对待测面板的表面进行检测,以取得该待测面板的亮点分布影像,该方法包含有以下步骤:提供背面光源至该待测面板,并由该取像装置拍摄该待测面板而取得一混和瑕疵表面影像;提供一或多数个侧向光源于该待测面板的正面及/或提供一或多数个侧向光源于该待测面板的背面,并由该取像装置拍摄该待测面板而取得一异物瑕疵表面影像;依据该异物瑕疵表面影像而滤除该混和瑕疵表面影像上的异物噪声,藉以输出一亮点分布影像。
进一步地,该侧向光源分别设置于该检测平台的正面二侧及该检测平台的背面二侧。
进一步地,该侧向光源的照射方向与该待测面板的表面间的夹角介于20度至30度之间。
进一步地,该侧向光源的照射方向与该待测面板的表面间的夹角大约为25度。
是以,本发明若干实施例相较于先前技术具有以下有益技术功效:
1.本发明可有效的滤除面板影像中的异物成分,藉此,可取得相对精确的亮点分布影像。
2.本发明侧向光源的照射方向与该待测面板的表面间的夹角大约呈25度角时,可减少于异物瑕疵表面影像中误检出亮点的情形,藉以提升异物噪声的滤除率。
附图说明
图1为本发明亮点检测设备的方块示意图。
图2为本发明亮点检测设备的侧面示意图。
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