[发明专利]检查装置、检查装置的校正方法及检查方法

权利要求书

1.一种检查对象物的检查装置，上述检查对象物呈面板状，并且被配置成并排的多个第一导电体和并排的多个第二导电体在从面板厚度方向观察时彼此交叉，其特征在于，具备：

多个第一布线体，在检查时与上述第一导电体的每一个电连接；

多个第二布线体，在检查时与上述第二导电体的每一个电连接；

信号部，作为供给交流信号的交流电源；

信号供给切换部，能够针对经由上述第二布线体向多个上述第二导电体的每一个供给上述信号部的交流信号或切断供给进行切换；

电流检测部，具有能够检测流过上述第一导电体的电流的多个电流计；

检测切换部，能够针对经由上述第一布线体将上述第一导电体的每一个与上述电流计连接或切断连接进行切换；以及

校正信号部，具有能够向各个上述电流计供给交流信号的多个交流电源，

上述检查装置构成为上述校正信号部的各个上述交流电源的电压及相位能够改变。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

具备至少控制上述信号部、上述电流检测部以及上述校正信号部的校正部，

上述校正部

在卸除了上述检查对象物的校正时，对上述第二布线体的至少任一个供给上述信号部的交流信号，并且调整上述校正信号部中与上述电流计对应的交流电源的电压以及相位，以便使与上述第一布线体电连接的上述电流检测部的电流计的输出为零，

获取上述电流计的输出为零时赋予给上述校正信号部的交流电源的电压及相位的参数即校正参数并存储，

在进行上述检查对象物的检查时，基于所存储的上述校正参数来使上述校正信号部的交流电源产生交流信号。

3.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

上述校正部在进行上述校正时，切换上述信号供给切换部的状态，以便对作为上述信号部的信号的供给对象的上述第二布线体进行变更，并且将上述信号供给切换部的状态与上述校正参数建立对应而存储，

在进行上述检查对象物的检查时，基于与上述信号供给切换部的状态对应地存储的上述校正参数，来使上述校正信号部的交流电源产生交流信号。

4.如权利要求2或3所述的检查装置，其特征在于，

上述校正部在进行上述校正时控制上述检测切换部，以便将多个上述第一布线体和与其对应的上述电流检测部的电流计同时连接。

5.如权利要求1～3中任一项所述的检查装置，其特征在于，

具备至少控制上述信号部、上述电流检测部、上述信号供给切换部及上述检测切换部的检查部，

在进行上述检查对象物的检查时，上述检查部

控制上述信号供给切换部，以便向从多个上述第二导电体中的选择出的一个供给上述信号部的交流信号，

控制上述检测切换部，以便将从多个上述第一导电体中选择出的一个与对应的上述电流检测部的电流计进行连接，

当将从选择出的第二导电体中作为供给上述信号部的交流信号的端部的供给端开始经由选择出的第二导电体与选择出的第一导电体的交叉部分到达选择出的第一导电体中作为连接上述电流计的一侧的端部的计测端的电路作为形成电路时，利用上述电流计检测电流，来计测包含上述形成电路的电阻即电路电阻和流过上述形成电路的电流的相位的偏移即电流相位偏移中的任一个的形成电路计测值，

基于所获得的上述形成电路计测值，来检查上述第一导电体及上述第二导电体的异常。

6.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

上述检查部对上述形成电路计测值进行计测，并且对选择出的上述第一导电体及上述第二导电体的交叉部分的静电电容进行测量。

7.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

上述检查部针对以选择出的第一导电体为共用，伴随着使选择出的第二导电体从上述第一导电体的长边方向一侧向另一侧依序变化，上述形成电路的电路电阻或电流相位偏移是否单调地增加或减少进行判定，据此来检查上述第一导电体及上述第二导电体的异常。