[发明专利]检查装置、检查装置的校正方法及检查方法

说明书

本发明提供一种检查装置、检查装置的校正方法及检查方法。在传感器面板等检查对象物的检查装置中，可以实现消除因线缆的寄生电容等造成的误差的校正，并且可以以良好的精度测量传感器面板的微小的静电电容。在卸除了传感器面板的状态下，传感器面板检查装置(1)的校正部(46)对多个第二线缆(37)中的至少任一个供给信号部(11)的交流信号，并且调整在校正信号部(42)中与上述电流计对应的交流电源的电压及相位，以便使与第一线缆(36)电连接的电流检测部(41)的电流计的输出为零。若电流计的输出为零，则存储当时的上述交流电源的电压及相位。在检查传感器面板时，基于所存储的电压及相位，来使校正信号部(42)的交流电源产生交流信号。

技术领域

本发明主要涉及以静电电容式的传感器面板等为检查的对象的检查装置。

背景技术

以往，作为检测触碰位置的触控面板装置的一种，公知有所谓的静电电容式触控面板装置。静电电容式触控面板装置的传感器面板具有在例如用玻璃等形成的透明基板上设置有第一图案透明导电层和第二图案透明导电层的结构。上述的图案透明导电层例如通过使用氧化铟锡(Indium Tin Oxide，ITO)成膜而形成。

两个图案透明导电层相互垂直交叉地配置，分别用作电极。另外，以下有时称第一图案透明导电层及第二图案透明导电层为第一电极及第二电极。第一电极与第二电极被配置成隔着传感器面板的厚度方向的间隙而对置。

由于以上的结构，在第一电极与第二电极的交叉部分形成一种电容器，上述的电容器的静电电容会因导电性物体(例如人体)接近或者接触而变化。触控面板装置可以通过检测上述的静电电容的变化来检测与传感器面板触碰的位置。上述方式称为所谓的投影型静电电容方式，在可以高精度地检测触碰位置的方面相当优异。

另外，对于触控面板装置的制造者而言，为了避免不良品的混入而确保产品品质而对传感器面板进行检查是极为重要的。

作为上述检查措施之一，以往，使由针状的导通探针所构成的接触头与沿纵横方向配置的各电极、与其连接的布线直接接触，来检查各电极(布线)是否导通和与相邻的电极(布线)是否短路。

然而，对于这样使接触头直接接触来进行检查的方法，由ITO膜构成的上述的电极与接触头间无稳定性，会由于氧化膜的接触电阻的不稳定性而无法正确地测量电特性。另外，由于接触头与检查对象的电极等直接接触，因此存在会形成刮痕而使品质降低的问题。

另一方面，如专利文献1所公开的那样，为了精度良好地对组装而成的触控面板上的规定的触碰输入位置进行检测，提出了检查触控面板整体的电阻值等电特性的方法。

另外，除专利文献1公开的内容以外，还提出了下述方案，即一边向各个电极供给检查信号，一边使接触头与电极交叉部分接触，基于接触头的检测信号来检查电极等的优劣。

(现有技术文献)

(专利文献)

专利文献1：日本特开2005-274225号公报

发明内容

(发明所要解决的问题)

然而，在这样的检查方法中，需要使接触头与沿纵横方向配置的所有的电极的交叉部分接触来进行检查。因此，若电极的数量增加，则移动接触头所需的时间变长，检查时间会显著地增加。

另外，虽然在检查的过程中考虑测量第一电极与第二电极的交叉部分处的静电电容，但上述的静电电容至多亦不过10pF左右，与此相对，检查装置的电路所含的非意图的电容成分(所谓的寄生电容)为100pF左右，这种寄生电容会成为降低测量精度的重大原因。因此，从提高检查的精度的观点出发，要求恰当地排除上述寄生电容的影响。