[发明专利]坩埚无效
| 申请号： | 201410255821.X | 申请日： | 2014-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN104109833A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张斌;刘凤 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 | ||
1.一种坩埚，其特征在于，包括：
第一本体，包括筒形第一侧壁和连接于所述第一侧壁底端部的埚底；以及
第二本体，包括筒形第二侧壁，所述第二侧壁的上端部具有坩埚开口，下端部连接于所述第一侧壁上端部；
其中，所述第二本体的导热系数大于所述第一本体的导热系数。
2.如权利要求1所述的坩埚，其中，所述第二本体的长度为所述第一本体的长度的1/10～1/5。
3.如权利要求1所述的坩埚，其中，所述第一侧壁的上端部具有第一连接部，所述第二侧壁的下端部具有能与所述第一连接部配合的第二连接部。
4.如权利要求3所述的坩埚，其中，所述第一连接部与所述第二连接部的配合方式为接触配合或间隙配合。
5.如权利要求3所述的坩埚，其中，所述第一连接部为第一阶梯部，所述第二连接部为与所述第一阶梯部配合的第二阶梯部。
6.如权利要求5所述的坩埚，其中，所述第一阶梯部设于所述第二阶梯部内侧。
7.如权利要求3所述的坩埚，其中，所述第一连接部为第一斜面部，所述第二连接部为与所述第一斜面部配合的第二斜面部。
8.如权利要求1-7中任意一项所述的坩埚，其中，还包括设于所述第一本体内的至少一个导热件。
9.如权利要求8所述的坩埚，其中，所述至少一个导热件与所述第一本体为一体成型结构。
10.如权利要求8所述的坩埚，其中，所述导热件为导热柱，其设置于所述埚底，并与所述埚底呈垂直关系。
11.如权利要求10所述的坩埚，所述导热柱的数目为一根，所述导热柱的长度为所述坩埚长度的1/5～1/2。
12.如权利要求11所述的坩埚，其中，所述埚底为圆盘形，所述导 热柱为圆柱形，且所述导热柱的直径是所述埚底的直径的1/10～1/5。
13.如权利要求1所述的坩埚，其中，所述第一本体由非金属材料制成和/或所述第二本体由金属材料制成。
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