[发明专利]坩埚

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于蒸镀工艺的坩埚。

背景技术

蒸镀工艺是生产OLED的一种重要的技术路线，使用蒸镀工艺，坩埚又是必不可少的治具。坩埚的材质和结构设计对有机材料成膜品质和生产效率有重要影响。

如图1A和图1B所示，传统的坩埚为一整体结构，包括筒状侧壁11和一体成型于侧壁11底端的埚底10，筒状侧壁11的顶端部为坩埚开口12。待蒸镀的材料放置于由筒状侧壁11和埚底10围成的空腔12内。

目前，常用的坩埚材质有金属、氧化铝、石英等，不同材质的坩埚具有不同的优缺点。例如，金属坩埚常用的有钛坩埚、铜坩埚、铝坩埚等，由于金属导热性好，容易使坩埚内的材料受热不均而出现爆冲现象，爆冲后的材料在坩埚开口聚集导致封口现象；氧化铝坩埚和石英坩埚则导热性较差，坩埚开口处的温度较低，材料蒸发后容易聚集于坩埚开口处导致封口现象。坩埚开口处一旦封口，便不得不破坏真空，将坩埚开口处的材料清理之后再重新建立真空，该过程往往要耗费大量时间。这不但影响蒸镀薄膜的质量，而且也降低的生产效率。

在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本发明的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明公开一种坩埚，其能使坩埚内材料受热均匀且能防止或减少受热蒸发材料在坩埚口部聚积而产生封口现象。

本发明的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述，并且部分地将从描述中变得显然，或者可以通过本发明的实践而习得。

根据本发明的一个方面，一种坩埚包括第一本体和第二本体，第一本体包括筒形第一侧壁和连接于所述第一侧壁底端部的埚底；第二本体包括筒形第二侧壁，所述第二侧壁的上端部具有坩埚开口，下端部连接于所述第一侧壁上端部；所述第二本体的导热系数大于所述第一本体的导热系数。

根据本发明的一实施方式，所述第二本体的长度为所述第一本体的长度的1/10～1/5。

根据本发明的一实施方式，所述第一侧壁的上端部具有第一连接部，所述第二侧壁的下端部具有能与所述第一连接部配合的第二连接部。

根据本发明的一实施方式，所述第一连接部与所述第二连接部接触的配合方式为配合或间隙配合。

根据本发明的一实施方式，所述第一连接部为第一阶梯部，所述第二连接部为与所述第一阶梯部配合的第二阶梯部。

根据本发明的一实施方式，所述第一阶梯部设于所述第二阶梯部内侧。

根据本发明的一实施方式，所述第一连接部为第一斜面部，所述第二连接部为与所述第一斜面部配合的第二斜面部。

根据本发明的一实施方式，其中，还包括设于所述第一本体内的至少一个导热件。

根据本发明的一实施方式，所述至少一个导热件与所述第一本体为一体成型结构。

根据本发明的一实施方式，所述导热件为导热柱，其设于所述埚底，并与所述埚底呈垂直关系。

根据本发明的一实施方式，所述导热柱的数目为一根，所述导热柱的长度为所述坩埚长度的1/5～1/2。

根据本发明的一实施方式，所述埚底为圆盘形，所述导热柱为圆柱形，且所述导热柱的直径是所述埚底的直径的1/10～1/5。

根据本发明的一实施方式，所述第一本体由非金属材料制成和/或所述第二本体由金属材料制成。

由上述技术方案可知，本发明的坩埚的优点和积极效果在于：本发明坩埚包括导热系数不同的第一本体和第二本体，且具有坩埚开口的第二本体的导热系数大于具有坩埚埚底的第一本体的导热系数。给坩埚加热的加热部件通常设于第一本体，当热量由第一本体传导至第二本体处过程中，由于第二本体的导热系数相对较大，故可降低热量损耗，使得第二本体的坩埚开口处的温度相对较高，从而可减少甚至避免蒸镀材料在坩埚开口处凝结，进而减少甚至避免封口现象；第二本体的坩埚开口处与第一本体的坩埚埚底处的温差较小，从而使坩埚内的材料受热均匀，因此减少甚至避免了由此引发的爆冲现象。

附图说明

通过参照附图详细描述其示例实施方式，本发明的上述和其它特征及优点将变得更加明显。

图1A示出传统的坩埚的结构示意图。

图1B示出图1A的俯视图。

图2A示出根据本发明坩埚第一实施方式的组装结构示意图。

图2B示出图2A的俯视图。

图2C示出图2A所示的坩埚第一实施方式的分解结构示意图。

图3A示出根据本发明坩埚第二实施方式的组装结构示意图。