[发明专利]一种收集装置有效
申请号: | 201410256493.5 | 申请日: | 2014-06-10 |
公开(公告)号: | CN104018122A | 公开(公告)日: | 2014-09-03 |
发明(设计)人: | 肖昂 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 收集 装置 | ||
1.一种收集装置,其特征在于,所述收集装置包括:收集板,其中:
所述收集板包括:一非水平设置的第一面板、一水平设置的第二面板和一非水平设置的第三面板;
所述第一面板的上面的边与所述第二面板的第一边连接,所述第二面板的第二边与所述第三面板的上面的边连接;所述第一面板与所述第三面板不接触;
所述收集板,用于当线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时,阻挡所述线性蒸发源蒸发出的蒸镀材料喷射到蒸镀腔室上。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述收集板还包括:一非水平设置的第四面板和一非水平设置的第五面板,其中:
所述第四面板的第一边与所述第一面板的侧面的一个边连接,所述第四面板的第二边与所述第二面板的第三边连接,所述第四面板的第三边与所述第三面板的侧面的一个边连接;
所述第五面板的第一边与所述第一面板的侧面的另一个边连接,所述第五面板的第二边与所述第二面板的第四边连接,所述第五面板的第三边与所述第三面板的侧面的另一个边连接。
3.根据权利要求1或2所述的装置,其特征在于,所述收集装置还包括:收集网板,所述收集网板固定在所述收集板的下方,其中:
所述收集网板包括:一非水平设置的第一网格面板、一水平设置的第二网格面板和一非水平设置的第三网格面板;
所述第一网格面板的上面的边与所述第二网格面板的第一边连接,所述第二网格面板的第二边与所述第三网格面板的上面的边连接;所述第一网格面板与所述第三网格面板不接触;
所述收集网板中的每个网格面板中的形状呈细密网格状,所述收集网板用于当线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时,收集所述线性蒸发源蒸发出的蒸镀材料。
4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述收集网板还包括:一非水平设置的第四网格面板和一非水平设置的第五网格面板,其中:
所述第四网格面板的第一边与所述第一网格面板的侧面的一个边连接,所述第四网格面板的第二边与所述第二网格面板的第三边连接,所述第四网格面板的第三边与所述第三网格面板的侧面的一个边连接;
所述第五网格面板的第一边与所述第一网格面板的侧面的另一个边连接,所述第五网格面板的第二边与所述第二网格面板的第四边连接,所述第五网格面板的第三边与所述第三网格面板的侧面的另一个边连接。
5.根据权利要求1或2所述的装置,其特征在于,所述收集装置还包括:一水平设置的直杆和驱动设备,其中:
所述直杆的一端与所述第一面板的第四边连接,所述直杆的另一端与所述驱动设备的输出端连接;
所述驱动设备用于根据接收到的控制信号通过所述直杆控制所述收集板在所述线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时伸出至所述线性蒸发源的上方,否则收回。
6.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,所述收集装置还包括:一水平设置的直杆和驱动设备,其中:
所述直杆的一端与所述第一面板的第四边连接,所述直杆的另一端与所述驱动设备的输出端连接;
所述驱动设备用于根据接收到的控制信号通过所述直杆控制所述收集板和所述收集网板在所述线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时伸出至所述线性蒸发源的上方,否则收回。
7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,
所述控制信号是通过红外感应器感应所述线性蒸发源上方有无基板通过来产生的。
8.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,
所述控制信号是通过激光感应器感应所述线性蒸发源上方有无基板通过来产生的。
9.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,
在所述线性蒸发源对所述基板进行蒸镀时,所述线性蒸发源静止不动,基板以一定的速度移动通过所述线性蒸发源的上方。
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