[发明专利]一种收集装置有效

专利信息
申请号: 201410256493.5 申请日: 2014-06-10
公开(公告)号: CN104018122A 公开(公告)日: 2014-09-03
发明(设计)人: 肖昂 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 收集 装置
【说明书】:

技术领域

发明涉及有机发光二极管面板制造技术领域,尤其涉及一种收集装置。

背景技术

现有技术方案有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,简称OLED)面板的生产中,通常采用蒸镀工艺使发光材料附着到需要的基板上。蒸镀工艺一般是在蒸镀腔室里完成。现有的蒸镀腔室中基板的受蒸镀面向下吸附在顶部基台上,掩模框架携带掩膜板位于线性蒸发源和基板之间。蒸镀前,需要先进行线性蒸发源的预蒸,使线性蒸发源的蒸镀速度达到目标蒸镀速率;蒸镀时,基板和掩膜板的位置固定,线性蒸发源沿一个方向平行基板和掩膜板移动扫描,完成对整张基板的蒸镀。

但是,由于现有技术方案在预蒸的过程中,线性蒸发源仍然在向外界蒸发发光材料,这样会出现发光材料被蒸发到腔室内壁的问题,造成发光材料的浪费。蒸镀过程中两张基板转换过程中有空白期,同样会出现发光材料被蒸发到腔室内壁的问题。同时,现有技术方案中通过线性蒸发源的移动完成对基板的蒸镀,由于线性蒸发源在移动过程中的震动,会出现蒸镀到基板上的材料厚度不均一的问题。

发明内容

本发明的实施例提供一种收集装置,解决了现有技术方案在给基板蒸镀发光材料时,由于蒸镀过程中自身存在的问题而出现的材料蒸镀到蒸镀腔室上和蒸镀到基板上的材料厚度不均一的问题,极大的减少了材料的浪费,降低了生产成本。同时提高了得到的产品的稳定性,提高了生产效率。

为达到上述目的,本发明的实施例采用如下技术方案:

一方面,提供一种收集装置,所述收集装置包括:收集板,其中:

所述收集板包括:一非水平设置的第一面板、一水平设置的第二面板和一非水平设置的第三面板;

所述第一面板的上面的边与所述第二面板的第一边连接,所述第二面板的第二边与所述第三面板的上面的边连接;所述第一面板与所述第三面板不接触;

所述收集板,用于当线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时,阻挡所述线性蒸发源蒸发出的蒸镀材料喷射到蒸镀腔室上。

可选的,所述收集板还包括:一非水平设置的第四面板和一非水平设置的第五面板,其中:

所述第四面板的第一边与所述第一面板的侧面的一个边连接,所述第四面板的第二边与所述第二面板的第三边连接,所述第四面板的第三边与所述第三面板的侧面的一个边连接;

所述第五面板的第一边与所述第一面板的侧面的另一个边连接,所述第五面板的第二边与所述第二面板的第四边连接,所述第五面板的第三边与所述第三面板的侧面的另一个边连接。

可选的,所述收集装置还包括:收集网板,所述收集网板固定在所述收集板的下方,其中:

所述收集网板包括:一非水平设置的第一网格面板、一水平设置的第二网格面板和一非水平设置的第三网格面板;

所述第一网格面板的上面的边与所述第二网格面板的第一边连接,所述第二网格面板的第二边与所述第三网格面板的上面的边连接;所述第一网格面板与所述第三网格面板不接触;

所述收集网板中的每个网格面板中的形状呈细密网格状,所述收集网板用于当线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时,收集所述线性蒸发源蒸发出的蒸镀材料。

可选的,所述收集网板还包括:一非水平设置的第四网格面板和一非水平设置的第五网格面板,其中:

所述第四网格面板的第一边与所述第一网格面板的侧面的一个边连接,所述第四网格面板的第二边与所述第二网格面板的第三边连接,所述第四网格面板的第三边与所述第三网格面板的侧面的一个边连接;

所述第五网格面板的第一边与所述第一网格面板的侧面的另一个边连接,所述第五网格面板的第二边与所述第二网格面板的第四边连接,所述第五网格面板的第三边与所述第三网格面板的侧面的另一个边连接。

可选的,所述收集装置还包括:一水平设置的直杆和驱动设备,其中:

所述直杆的一端与所述第一面板的第四边连接,所述直杆的另一端与所述驱动设备的输出端连接;

所述驱动设备用于根据接收到的控制信号通过所述直杆控制所述收集板在所述线性蒸发源处于预蒸发阶段和两个基板切换的空白阶段时伸出至所述线性蒸发源的上方,否则收回。

可选的,所述收集装置还包括:一水平设置的直杆和驱动设备,其中:

所述直杆的一端与所述第一面板的第四边连接,所述直杆的另一端与所述驱动设备的输出端连接;

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