[发明专利]一种电热管气相沉积方法

权利要求书

1.一种电热管气相沉积方法，其特征在于：

首先，将高温炉(1)的加热腔的温度加热至700℃～900℃，将石英玻璃管分别套接于固定杆(201b)上，并在固定杆头端套接耐热橡胶帽防止石英玻璃管从固定杆上滑出；

其次，推动电机(203)将转筒(201)推入高温炉(1)的加热腔内，启动电机使石英玻璃管绕转筒轴心旋转，之后开启高压喷枪(4)的开关和高压气泵(6)开关，然后启动控制曲柄滑块机构(3)的电动机，加热时间为15min；

最后，加热完成后，依次关闭高压喷枪开关、控制曲柄滑块机构的电动机以及电机(203)，拉动电机将转筒拉入高温炉，取下石英玻璃管转移至冷却工位。

2.根据权利要求1所述的电热管气相沉积方法，其特征在于：所述曲柄滑块机构(3)包括滑块(301)，所述滑块上设有两块弹性片(301a)，所述高压喷枪(4)底座嵌入两块弹性片之间的间隙中。

3.根据权利要求1所述的电热管气相沉积方法，其特征在于：所述高温炉(1)上端设有贯通高温炉加热腔的出气管(104)，所述出气管与高温炉的连接端设有离心风机(104a)。

4.根据权利要求1所述的电热管气相沉积方法，其特征在于：所述高压喷枪(4)与高压气泵(6)之间的软管上设有气压表(601)。