[发明专利]一种电热管气相沉积方法有效

专利信息
申请号: 201410256544.4 申请日: 2014-06-10
公开(公告)号: CN104071987A 公开(公告)日: 2014-10-01
发明(设计)人: 施吉承;卫正强 申请(专利权)人: 长兴宏能电热膜元件厂
主分类号: C03C17/00 分类号: C03C17/00
代理公司: 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 代理人: 秦晓刚
地址: 313100 浙江省湖州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 热管 沉积 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种电热管气相沉积方法。

技术背景

电热膜溶液气压加压成混合雾气采用气相沉积技术喷向高温炉内的石英玻璃管,使石英玻璃管均匀烟附混合雾气形成电热膜管。

现有的的电热管气相沉积设备大多采用人工操作,生产效率低下,人工成本较高,而且高温挥发的气体不利于工人的健康。

发明内容

本发明所要解决的技术问题就是提供一种电热管气相沉积方法,使石英玻璃管表面的电热膜溶液气相沉积生产效率更高,成本更低。

为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:

一种电热管气相沉积方法,首先,将高温炉的加热腔的温度加热至700℃~900℃,将石英玻璃管分别套接于固定杆上,并在固定杆头端套接耐热橡胶帽防止石英玻璃管从固定杆上滑出;

其次,推动电机将转筒推入高温炉的加热腔内,启动电机使石英玻璃管绕转筒轴心旋转,之后开启高压喷枪的开关和高压气泵开关,然后启动控制曲柄滑块机构的电动机,加热时间为15min;

最后,加热完成后,依次关闭高压喷枪开关、控制曲柄滑块机构的电动机以及电机,拉动电机将转筒拉入高温炉,取下石英玻璃管转移至冷却工位。

优选的,所述曲柄滑块机构包括滑块,所述滑块上设有两块弹性片,所述高压喷枪底座嵌入两块弹性片之间的间隙中。

优选的,所述高温炉上端设有贯通高温炉加热腔的出气管,所述出气管与高温炉的连接端设有离心风机。

优选的,所述高压喷枪与高压气泵之间的软管上设有气压表。

本发明采用上述技术方案,高压喷枪通过曲柄滑块机构驱动使喷雾口在缺口内做直线往复运动,从而使喷雾口喷出的雾化电热膜溶液均匀的喷洒至高温炉加热腔内,石英玻璃管固定于固定杆上通过回转机构旋转,从而使高温炉内的雾化电热膜溶液经高温气相沉积均匀的附着在石英玻璃管表面形成电热膜管。本发明取代了人工操作握持高压喷枪以及转动旋转石英玻璃管,具有更高的生产效率,更低的成本,而且能够避免工人因贴近高温炉工作而吸入有毒挥发气体的危险。

附图说明

以下结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步描述:

图1是本发明中电热管气相沉积装置的结构示意图;

图2是图1的左视图;

图3是本发明中转筒的结构示意图;

图4是本发明中滑块的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作详细说明。

如图1和图2所示,本发明电热管气相沉积装置包括高温炉1,所述高温炉的前侧设有回转机构2,所述回转机构包括转筒201、连接转筒的转轴202以及连接转轴的电机203,所述高温炉的前侧面设有通孔101,所述转筒穿过通孔伸入高温炉加热腔中,所述转筒包括筒体201a和设置于筒体端面的若干根固定杆201b,所述固定杆上穿设石英玻璃管,所述高温炉左侧设有曲柄滑块机构3,所述曲柄滑块机构连接高压喷枪4,所述高压喷枪上的进液口通过软管连接储液瓶5,所述高压喷枪上的进气口通过软管连接高压气泵6,所述高温炉的左侧面上设有缺口102,所述高压喷枪的喷雾口穿过缺口伸入高温炉加热腔中且曲柄滑块机构驱动高压喷枪使喷雾口在缺口内做直线往复运动。

所述电机203固定于支杆204上端,所述支杆下端滑动连接于滑轨205上。通过支杆204与滑轨205的滑动连接,进行石英玻璃管的装料和卸料,操作方便。

所述高温炉1上端设有贯通高温炉加热腔的出气管104,所述出气管与高温炉的连接端设有离心风机104a。所述离心风机104a将高温炉加热腔内的有害气体抽离并通过出气管104排放至气体处理池进行净化处理。所述高温炉1底部设有若干块加热体103对加热腔进行加热。

所述高压喷枪4与高压气泵6之间的软管上设有气压表601,便于观察和调试气压大小。

如图3所示,所述固定杆201b周向分布于筒体201a的端面且固定杆的头端设有耐热橡胶帽,防止石英玻璃管从固定杆上滑出。

如图4所示,所述曲柄滑块机构3包括滑块301,所述滑块上设有两块弹性片301a,所述高压喷枪4底座嵌入两块弹性片之间的间隙中。

本发明的电热管气相沉积方法为:

首先,将高温炉1的加热腔的温度加热至700℃~900℃,将石英玻璃管分别套接于固定杆201b上,并在固定杆头端套接耐热橡胶帽防止石英玻璃管从固定杆上滑出;

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