[发明专利]用于集成无源器件的测试板以及测试方案

权利要求书

1.一种用于集成无源器件的测试板，包括测试结构和校准结构，其特征在于：所述校准结构与所述测试结构位于同一块PCB板上，并且与所述测试结构的布局相同，所述校准结构包括开路校准结构和短路校准结构，所述短路校准结构的端子之间具有短路布线，其中，所述测试结构包括第一端子、第二端子以及第一互连布线，所述第二端子位于所述第一端子外围、并且通过所述互连布线与所述第一端子电连接，所述校准结构包括第三端子、第四端子以及第二互连布线，所述第三端子和第四端子的相对位置关系、与所述第一端子和第二端子的相对位置关系相同，所述第二互连布线与所述第一互连布线长度以及方向相同。

2.如权利要求1所述的用于集成无源器件的测试板，其中，所述校准结构位于所述测试板的角落或者侧边处，或者与所述测试结构间隔排列。

3.如权利要求1所述的用于集成无源器件的测试板，其中，所述校准结构与所述测试结构的形成工艺以及材料相同。

4.一种用于集成无源器件的测试系统，包括：

测试板，包括测试结构和校准结构，所述校准结构位于所述测试结构周围、并且与所述测试结构的布局相同，所述校准结构包括开路校准结构和短路校准结构，所述短路校准结构的端子之间具有短路布线；

测试仪，通过电缆和探针与所述测试板电连接；

待测的集成无源器件，通过所述测试结构与所述测试板电连接，

其中，所述测试结构包括第一端子、第二端子以及第一互连布线，所述校准结构包括第三端子、第四端子以及第二互连布线，所述第三端子和第四端子的相对位置关系、与所述第一端子和第二端子的相对位置关系相同，所述第二互连布线与所述第一互连布线长度以及方向相同。

5.如权利要求4所述的用于集成无源器件的测试系统，其中，所述测试仪倒装安装在所述测试板的测试结构上。