[发明专利]激光退火装置及利用该装置的显示设备制造方法

权利要求书

1.一种激光退火装置，其特征在于，包括：

主激光束发射部，其能够发射主激光束；

激光束分束部，其能够将从所述主激光束发射部发射的主激光束分束成多束子主激光束；

多个相位调制器，分别位于被所述激光束分束部分束的多束子主激光束各自的光路上，能够调制通过的激光束的相位；

激光束合束部，其将分别通过了所述多个相位调制器的激光束合并。

2.根据权利要求1所述的激光退火装置，其特征在于，

进一步包括能够发射副激光束的副激光束发射部，所述激光束分束部能够将从所述副激光束发射部发射的副激光束分束成多束子副激光束，被所述激光束分束部分束的多束子副激光束分别通过多个所述相位调制器。

3.根据权利要求2所述的激光退火装置，其特征在于，

所述激光束分束部将从所述主激光束发射部发射的主激光束分束成n束的子主激光束，将从所述副激光束发射部发射的副激光束分束成n束的子副激光束，使n束的子主激光束与n束的子副激光束一一对应地合并，从而发射n束的子激光束。

4.根据权利要求3所述的激光退火装置，其特征在于，

所述多个相位调制器包括第一相位调制器至第n相位调制器，所述第一相位调制器至所述第n相位调制器位于n束子激光束的光路上。

5.根据权利要求3所述的激光退火装置，其特征在于，

进一步包括追加分束部，所述追加分束部将通过了所述激光束分束部的n束子激光束各自分束成k束的子激光束，从而发射n×k束的子激光束，其中，k是2以上的自然数。

6.根据权利要求5所述的激光退火装置，其特征在于，

所述多个相位调制器包括第一相位调制器至第n×k相位调制器，所述第一相位调制器至所述第n×k相位调制器位于n×k束子激光束的光路上。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的激光退火装置，其特征在于，

所述多个相位调制器中的至少一个具有激光束通过介质以及能够使所述激光束通过介质振动的振动部。

8.根据权利要求7所述的激光退火装置，其特征在于，

所述激光束通过介质包括蓝宝石及石英中的至少一种。

9.根据权利要求7所述的激光退火装置，其特征在于，

所述振动部包括压电促动器。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的激光退火装置，其特征在于，

所述多个相位调制器中的至少一个具有道威棱镜。

11.一种显示设备制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

在基板上形成非晶硅层；

对非晶硅层照射从权利要求1至10中任一项所述的激光退火装置发射的激光束，使非晶硅层转变为多晶硅层；

形成显示元件。