[发明专利]功能元件、电子设备及移动体有效
申请号: | 201410270229.7 | 申请日: | 2014-06-17 |
公开(公告)号: | CN105301283B | 公开(公告)日: | 2019-02-19 |
发明(设计)人: | 田中悟 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01P15/08 | 分类号: | G01P15/08;G01P15/125 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;苏萌萌 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 功能 元件 电子设备 移动 | ||
1.一种功能元件,其特征在于,包括:
第一电极部;
第二电极部;
可动体,其能够沿第一轴进行移位;
第一可动电极部,其从所述可动体延伸;
第一配线,其与所述第一电极部相连接;
第二配线,其与所述第二电极部相连接;
第三配线,其与所述第一可动电极部相连接;
所述第一配线具备与所述第二配线以外的配线交叉的第一交叉部,
所述第二配线具备与所述第一配线以外的配线交叉的第二交叉部,
所述第一交叉部的个数与所述第二交叉部的个数之差相对于所述第一交叉部的个数或所述第二交叉部的个数中的较多的一方的个数,而满足在其50%以下,
所述第三配线与所述第一配线以及所述第二配线中的至少一方的配线交叉。
2.如权利要求1所述的功能元件,其特征在于,
在俯视观察时,所述第一交叉部的交叉面积的总和与所述第二交叉部的交叉面积的总和之差,相对于所述第一交叉部的交叉面积的总和与所述第二交叉部的交叉面积的总和之中较大的一方的面积,而满足在其50%以下。
3.如权利要求1所述的功能元件,其特征在于,
所述第一交叉部的个数与所述第二交叉部的个数相等。
4.如权利要求1所述的功能元件,其特征在于,包括:
固定电极部,其包括作为被配置于所述第一可动电极部的一侧的第一电极部的第一固定电极部、和作为被配置于另一侧的第二电极部的第二固定电极部。
5.如权利要求4所述的功能元件,其特征在于,
包括电浮置的第四配线,
所述第四配线与所述第一配线以及所述第二配线中的至少一方的配线交叉。
6.如权利要求4所述的功能元件,其特征在于,
包括向与所述第一可动电极部相反的一侧延伸的第二可动电极部,
所述固定电极部包括被配置于所述第二可动电极部的一侧的第三固定电极部、和被配置于另一侧的第四固定电极部,
所述第一配线经过第一分支部而连接于所述第一固定电极部和所述第三固定电极部,
所述第二配线经过第二分支部而连接于所述第二固定电极部和所述第四固定电极部。
7.如权利要求4所述的功能元件,其特征在于,
所述可动体、所述可动电极部、所述固定电极部、所述第一配线以及所述第二配线被配置于基板上,
在所述第一交叉部以及所述第二交叉部中的至少一方的交叉部中,交叉中的一方的配线被设置于所述基板上所设置的槽的内部。
8.如权利要求7所述的功能元件,其特征在于,
交叉中的另一方的配线通过包含硅的结构体而被设置。
9.如权利要求7所述的功能元件,其特征在于,
所述第一配线以及所述第二配线具备互相并行的部分,
在所述并行的部分中,所述第一配线以及所述第二配线中的一方的配线被设置于所述基板上所设置的槽的内部。
10.如权利要求1所述的功能元件,其特征在于,
所述第一配线以及所述第二配线的电特性相等。
11.一种电子设备,其中,
包括权利要求1所述的功能元件。
12.一种移动体,其中,
包括如权利要求1所述的功能元件。
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