[发明专利]功能元件、电子设备及移动体

说明书

本发明提供一种功能元件、电子设备及移动体，其能够准确地检测物理量。本发明所涉及的功能元件包括：第一电极部、第二电极部、与所述第一电极部相连接的第一配线和与所述第二电极部连接的第二配线，所述第一配线具备与所述第二配线以外的配线交叉的第一交叉部，所述第二配线具备与所述第一配线以外的配线交叉的第二交叉部，所述第一交叉部的个数与所述第二交叉部的个数之差相对于所述第一交叉部的个数与所述第二交叉部的个数中的较多的一方的个数,而满足在其50％以下。

技术领域

本发明涉及一种功能元件、电子设备以及移动体。

背景技术

近年来，利用一种例如硅MEMS(Micro Electro Mechanical System：微型机电系统)技术来开发一种对加速度等的物理量进行检测的物理量传感器(功能元件)。

例如在专利文献1中记载有一种物理量传感器，其中，包括：可动体，其被设置于基板的上方；可动电极部，其从可动体延伸；第一固定电极部，其被设置于可动电极部的一侧；第二固定电极部，其被设置于可动电极部的一侧；

所述物理量传感器分别对可动电极部与第一固定电极部之间的静电电容、和可动电极部与第二固定电极部之间的静电电容进行测定，并根据这些测定结果(利用所谓的差动检测方式)而对物理量进行检测。

在这种物理量传感器中，利用通过第一配线而与第一固定电极部连接的第一衬垫、和通过第二配线而与第二固定电极部连接的第二衬垫，对固定电极部与可动电极部之间的静电电容进行检测。

但是，在专利文献1的物理量传感器中，第一配线的与第二固定电极部交叉的部分数、和第二配线的与第一固定电极部交叉的部分数有较大不同。因此，在专利文献1的物理量传感器中，第一配线与第二配线间电特性(阻抗和寄生电容)的差异较大。因此，在可动电极部与第一固定电极部之间的静电电容、和可动电极部与第二固定电极部之间的静电电容上，将附加有不同的寄生电容，从而存在降低物理量的检测精度的可能性。

专利文献1：日本特开2012-98208号公报

发明内容

本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种能够抑制物理量的检测精度降低的功能元件。另外，本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种包括上述功能元件的电子设备以及移动体。

本发明是为了解决上述课题的一部分分而完成的，能够作为以下的方式或应用例来实现。

应用例1

本应用例所涉及的功能元件包括：第一电极部；第二电极部；第一配线，其与所述第一电极部相连接；第二配线，其与所述第二电极部相连接；所述第一配线具备与所述第二配线以外的配线交叉的第一交叉部，所述第二配线具备与所述第一配线以外的配线交叉的第二交叉部，所述第一交叉部的个数与所述第二交叉部的个数之差相对于所述第一交叉部的个数或所述第二交叉部的个数中的较多的一方的个数，而满足在其50％以下。

在这种功能元件中，能够降低功能元件的配线之间的寄生电容的误差。例如，在作为功能元件而用于电容检测型的物理量传感器中的情况下，将降低第一配线与第二配线之间产生的静电电容的付加量的差。因此，在这种物理量传感器中，利用所谓的差动检测方式，能够抵消第一配线以及第二配线的寄生电容的大部分，从而能够更加准确地检测物理量。

应用例2

在本应用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，即，在俯视观察时，所述第一交叉部的交叉面积的总和与所述第二交叉部的交叉面积的总和之差，相对于所述第一交叉部的交叉面积的总和与所述第二交叉部的交叉面积的总和之中较大的一方的面积，而满足在其50％以下。