[发明专利]一种探针器件和检测装置

权利要求书

1.一种探针器件，所述探针器件包括：探针头部和探针主体；其特征在于，所述探针器件还包括用于连接所述探针头部和所述探针主体、并根据需要改变所述探针头部和探针主体的相对位置的连接部。

2.如权利要求1所述的探针器件，其特征在于，所述连接部包括设置在所述探针主体上的第一子连接结构，和设置在所述探针头部、与所述第一子连接结构相匹配的第二子连接结构，所述探针头部和探针主体通过所述第一子连接结构和所述第二子连接结构连接。

3.如权利要求2所述的探针器件，其特征在于，所述第二子连接结构上设置有一凸形结构；

所述第一子连接结构上设置有与所述凸形结构相匹配的、供所述凸形结构滑动的凹槽，使得所述凸形结构在所述凹槽中滑动；或者，所述第一子连接结构上设置有多个与所述凸形结构相匹配的凹形结构。

4.如权利要求3所述的探针器件，其特征在于，所述凹槽的长度不大于与所述第一子连接结构连接的探针主体的一端的宽度。

5.如权利要求3所述的探针器件，其特征在于，当所述第二子连接结构上设置有一凸形结构，所述第一子连接结构上设置有与所述凸形结构相匹配的、供所述凸形结构滑动的凹槽时，所述凹槽的深度和与之相匹配所述凸形结构的高度相匹配，所述凹槽的宽度大于所述凸形结构的宽度。

6.如权利要求2所述的探针器件，其特征在于，所述第二子连接结构上设置有一凹形结构，所述第一子连接结构上设置有多个与所述凹形结构相匹配的凸形结构。

7.如权利要求3～5任一权项所述的探针器件，其特征在于，设置在所述第二子连接结构上的凸形结构或凹形结构，在垂直于所述探针主体所处的平面、且沿垂直于所述探针头部的延伸方向上的横截面的形状为矩形或梯形。

8.如权利要求3所述的探针器件，其特征在于，所述凹形结构的中心位置处设置有孔径大小与螺栓的直径相匹配的第一螺孔，所述第一螺孔贯穿所述凹形结构；所述凸形结构的中心位置处设置有孔径大小与螺栓的直径相匹配的第二螺孔，所述第二螺孔贯穿所述凸形结构；

所述第一子连接结构的远离所述第二子连接结构的一侧镶嵌有多个与所述螺栓相匹配的螺母，所述螺母的中心轴与所述第一螺孔的中心轴在同一直线上，所述第一子连接结构与第二子连接结构通过所述螺栓和螺母固定。

9.一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括权利要求1～8任一权项所述的探针器件。