[发明专利]一种改进产品标准的方法

权利要求书

1.一种改进产品标准的方法，应用于晶圆缺陷扫描，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤S1，对晶圆进行缺陷扫描，若所述晶圆没有超出标准，则放行进行下一步操作，若所述晶圆缺陷扫描超出设定规格，则操作系统报警，进行步骤S2；

步骤S2，良率工程师通过数据分析软件对报警的晶圆进行初步判断并选择进行重新测量或者增加晶圆扫描片数和微观检查；

步骤S3，根据步骤S2操作结果由良率工程师判断所述操作系统报警原因，并根据所述报警原因进行调整出现的缺陷；

重复步骤S2-S3，直至修复产生的缺陷。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2中的重新测量即是重复一次相同的派工扫描。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2中的增加晶圆扫描片数即增加扫描一批产品的某些单序号或双序号数的晶圆。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2中的微观检查为使用另一种机台进行微观检测，得到并放大晶圆缺陷位置。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S3中确定进行增加晶圆扫描片数和微观检查操作后，良率工程师根据初步的缺陷判断，调整扫描程式、扫描机台和扫描晶圆。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，扫描机台具备有标准规格控制软件。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述操作系统为自动生产物料运输系统。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述自动物料运输系统包括：自动调用产品机台，自动扫描机台，自动目检机台。