[发明专利]一种精细操作系统及其距离测量的方法

说明书

【技术领域】

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种精细操作系统及使用其进行距离测量的方法。

【背景技术】

测量与某个物体之间的距离是最为广泛的应用之一，而在显示领域中，譬如液晶显示器、有机发光二极管(OLED)显示器、低温多晶硅显示器的制造领域中，测量距离更为重要也更为精细。

在薄膜场效应晶体管液晶显示器(TFT-LCD)生产过程中，许多工序譬如：阵列检测距离的判定、液晶面板配向膜(Cell PI)的涂布、液晶面板滴下制程(Cell ODF)的框胶涂布、液晶面板切割(Cell Cut)、模块的对位等，都需要在距离玻璃基板一定高度的地方，使用移动设备对玻璃基板进行作业或者进行对位。

目前工艺制程中用来检测移动设备11与玻璃基板13之间的距离方法有两种，第一种是通过已知的数据计算移动设备11与玻璃基板13之间的距离H。如图1所示，由于移动设备11和操作平台12之间有比较大的空间，而玻璃基板13的厚度D有一定的规格，D通常为0.3mm—0.7mm。这种方法得到的H数值(即移动设备11与玻璃基板12的距离)比较粗略，并且H值是通过计算得出，即通过定期校正测量移动设备11和操作平台12之间的高度L，减去玻璃基板13的厚度D。这种计算距离的方法用于一些对距离精度要求不高的设备的测距中，并且还需要通过定期调整检测来校正，效率低下。

第二种测距的方法就是通过更精确的模型计算，例如滴下制程工序的框胶涂布，原理如图2所示。

通过操作平台的反光以及玻璃基板的反光，然后通过设备上受光镜片接收反光，通过计算发光光束及发射光光束之间的夹角来计算操作平台与玻璃基板之间的距离，具体原理图请参考图2所示。这种方法是通过调整受光镜片21来接收反射光，然后通过调整受光镜片21的角度来计算移动设备与玻璃基板之间的距离。这种方法主要问题是必须通过接收反射光来计算距离，而反射光在玻璃基板上反射之后的强度聚散性大大减弱，这样就会大大降低测量的精度，同时通过调整受光镜片21计算距离的方式，也时常存在较大的误差。所以这种方法不能用于很精细的设备测距上。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种精细操作系统及使用其进行距离测量的方法，以提高距离测量的精度和工作效率。

为解决上述技术问题，本发明构造了一种精细操作系统，所述精细操作系统包括：

移动设备，用于对待处理物品进行精细操作或精细检测；

操作平台，用于承载所述待处理物品；

测距装置，用于检测所述移动设备与所述待处理物品表面之间的距离，其包括：

图像接收器，其具有一图像接收平面，所述图像接收平面与所述操作平台的承载面平行；以及

透镜，所述透镜的主光轴与所述图像接收平面垂直，所述透镜的光心与所述图像接收平面的距离为一预设距离；以及

位置调节器，用于调整所述测距装置与所述操作平台之间的距离，使得所述图像接收平面上的所述待处理物品的成像大小与所述待处理物品的沿透镜的光轴投影的图像大小相同。

在本发明的精细操作系统中，其中，所述测距装置具有一初始位置；

所述测距装置的初始位置为：沿第一直线方向的所述透镜的横截面和所述移动设备的底部所在的平面处于同一参考平面；其中，所述第一直线为：与所述透镜主光轴垂直且经过的所述透镜的光心的直线；

所述位置调节器还用于以所述参考平面为基准位置调整所述测距装置与所述操作平台之间的距离。

在本发明的精细操作系统中，所述测距装置沿所述透镜的光轴方向靠近所述操作平台或者远离所述操作平台。

在本发明的精细操作系统中，所述预设距离为所述透镜的焦距的2倍。

在本发明的精细操作系统中，所述透镜为凸透镜或者凹透镜。

本发明的另一个目的在于提供一种使用精细操作系统进行距离测量的方法，所述精细操作系统包括：

移动设备，用于对待处理物品进行精细操作或精细检测；

操作平台，用于承载所述待处理物品；

测距装置，用于检测所述移动设备与所述待处理物品表面之间的距离，其包括：

图像接收器，其具有一图像接收平面，所述图像接收平面与所述操作平台的承载面平行；以及

透镜，所述透镜的主光轴与所述图像接收平面垂直，所述透镜的光心与所述图像接收平面的距离为一预设距离；以及