[发明专利]局部区域形貌扫描的电化学检测装置

权利要求书

1.一种电化学检测装置在局部地域形貌扫描中的应用，其特征在于：所述电化学检测装置由双恒电位仪、探针信号接收装置、锁相放大器、样品信号采集器、电解槽调水平旋钮、测试探针、样品固定台、参比电极、测试电解槽、电解槽上盖、对电极构成；

双恒电位仪链接探针信号接收装置、锁相放大器、样品信号采集器、测试探针、参比电极、对电极，样品信号采集器拥有数据采集模块，采集测试探针、参比电极、对电极相关电极和探针获得的监测信号，由锁相放大器将测试信号放大、去噪声，探针信号接收装置将锁相放大器测试的信号传入双恒电位仪进行数据处理和信息反馈，测试探针、参比电极、对电极组成三电极体系，测试过程中，测试探针、参比电极、对电极放入测试电解槽，电解槽上盖盖在电解槽上防止测试过程中测试体系扰动，样品固定台固定要研究的测试样品，计算机用于采集测试探针的信号；

所述探针信号接收装置包括三维步进电机和压电陶瓷传感器；

所述局部地域形状扫描过程具体为，

第一步，将测试探针进行预处理；

第二步，将测试样品放入电解槽中固定，将测试平台调水平，将测试探针固定在卡槽中，将测试探针、对电极、参比电极与双恒电位仪接线；

第三步，设置双恒电位仪参数；

第四步，通过控制三维步进电机和压电陶瓷传感器，将测试探针移动到测试区域，进行测试；

第五步，将设置好测试参数的软件运行，将测试探针在X-Y平面内依次采集数据，获得局部区域形貌阻抗谱的实部Z_re、虚部-Z_im、模值|Z|、相位角-Phase的三维空间分布；

第六步，将测试数据依据测试样品、电极、溶液体系的等效电路进行拟合分析。

2.如权利要求1所述的电化学检测装置在局部地域形貌扫描中的应用，其特征在于：所述参比电极为Ag/AgCl电极。

3.如权利要求1或2所述的电化学检测装置在局部地域形貌扫描中的应用，其特征在于：所述双恒电位仪的电流测试精度为0.1nA；电压测试精度为0.001mV；最大输出电压为±30V；最大输出电流为±2A。

4.如权利要求1或2所述的电化学检测装置在局部地域形貌扫描中的应用，其特征在于：所述的压电陶瓷传感器在空间X、Y、Z方向上的最大移动距离为100μm，最小移动步长距离100nm。

5.如权利要求1或2所述的电化学检测装置在局部地域形貌扫描中的应用，其特征在于：所述测试探针为Pt纯度>99.9％的铂圆盘电极和Au纯度>99.9％的金圆盘电极。