[发明专利]振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体有效
申请号: | 201410277804.6 | 申请日: | 2014-06-20 |
公开(公告)号: | CN104242859B | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 山田明法;吉田周平 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/19 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;于英慧 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 振动 电子器件 电子设备 以及 移动 | ||
1.一种石英振动片,其包含以下部分:
基部;
一对振动臂,它们从所述基部起朝第1方向延伸,并在与所述第1方向垂直的第2方向上分离配置;
支撑臂,其从所述基部起朝所述第1方向延伸,并配置在所述一对振动臂之间,
所述支撑臂具有与石英的X晶轴交叉的2个侧面以及彼此不同极的第1电极焊盘和第2电极焊盘,
所述石英振动片的特征在于,
所述支撑臂还包含:
第1引出电极和第2引出电极,它们设置于所述2个侧面中的+X轴侧的侧面,所述第1引出电极与所述第1电极焊盘连接,所述第2引出电极与所述第2电极焊盘连接;以及
切口部,该切口部的沿所述X晶轴的截面具有从-X轴侧朝向所述+X轴侧呈凸状的倾斜部,所述倾斜部包含从所述+X轴侧的侧面向石英的Z晶轴方向的一侧倾斜的第1倾斜面、和从所述+X轴侧的侧面向所述Z晶轴方向的另一侧倾斜的第2倾斜面,
所述第1引出电极和所述第2引出电极在所述切口部处是不导通的。
2.根据权利要求1所述的石英振动片,其特征在于,
所述第1倾斜面和所述第2倾斜面断续地倾斜。
3.根据权利要求1或2所述的石英振动片,其特征在于,
所述切口部配置于平面视图中的所述第1电极焊盘与所述第2电极焊盘之间、以及所述支撑臂的末端与所述第1电极焊盘之间中的至少任意一处。
4.根据权利要求1或2所述的石英振动片,其特征在于,
在平面视图中,所述第1倾斜面与所述第2倾斜面重叠。
5.根据权利要求1或2所述的石英振动片,其特征在于,
所述切口部的沿着Y晶轴方向的长度L1为5μm以上500μm以下。
6.根据权利要求5所述的石英振动片,其特征在于,
所述L1为20μm以上100μm以下。
7.根据权利要求1或2所述的石英振动片,其特征在于,
所述切口部的沿着所述X晶轴方向的长度W1为5μm以上300μm以下。
8.根据权利要求7所述的石英振动片,其特征在于,
所述W1为10μm以上50μm以下。
9.根据权利要求1或2所述的石英振动片,其特征在于,
在所述支撑臂上设置有多个所述切口部。
10.一种振子,其特征在于,该振子具有:
权利要求1或2所述的石英振动片;以及
收纳有所述振动片的容器。
11.一种电子器件,其特征在于,该电子器件具有:
权利要求1或2所述的石英振动片;以及
电路。
12.一种电子设备,其特征在于,该电子设备具有权利要求1或2所述的石英振动片。
13.一种移动体,其特征在于,该移动体具有权利要求1或2所述的石英振动片。
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